大型立式超精密機(jī)床系統(tǒng)誤差分析與辨識(shí)技術(shù)研究.pdf_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩57頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、超精密加工技術(shù)是現(xiàn)代高技術(shù)戰(zhàn)爭(zhēng)的重要支撐技術(shù),是現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)和科學(xué)技術(shù)的發(fā)展基礎(chǔ),是現(xiàn)代制造科學(xué)的發(fā)展方向。以超精密加工技術(shù)為支撐的半導(dǎo)體器件,為電子、信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展奠定了基礎(chǔ)?,F(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以試驗(yàn)為基礎(chǔ),所需試驗(yàn)儀器和設(shè)備幾乎無一不需要超精密加工技術(shù)的支撐。當(dāng)前超精密加工已進(jìn)入納米尺度,成為尖端技術(shù)發(fā)展中不可缺少的關(guān)鍵加工手段,不論是軍事工業(yè),還是民用工業(yè),都需要這種先進(jìn)的加工技術(shù)。
  本文主要針對(duì)兩軸立式大型超精密機(jī)床

2、加工精度進(jìn)行研究,采用傳遞矩陣法、有限元方法以及多體系統(tǒng)理論對(duì)影響加工精度的機(jī)床主要部件誤差進(jìn)行分析。為能夠比較全面表征已加工表面形貌特征,本文選擇小波方法、相關(guān)性分析方法和功率譜密度方法對(duì)機(jī)床已加工表面形貌進(jìn)行分析,小波變換方法區(qū)別于傳統(tǒng)傅立葉變化方法的主要特征是能夠在時(shí)頻域?qū)π盘?hào)進(jìn)行全面表征,相關(guān)性分析可以對(duì)兩個(gè)不同過程信號(hào)的相關(guān)性進(jìn)行評(píng)估。功率譜密度方法可以全面反映檢測(cè)信號(hào)中的小尺度波紋特征,據(jù)此對(duì)機(jī)床誤差進(jìn)行了辨識(shí)。
  

3、針對(duì)液體靜壓軸承結(jié)構(gòu),根據(jù)流體力學(xué)知識(shí)推導(dǎo)出軸承參數(shù)公式并與其他計(jì)算方法進(jìn)行了對(duì)比?;谂nD定律,建立了主軸系統(tǒng)平衡狀態(tài)下數(shù)學(xué)模型,以此模型為基礎(chǔ)推導(dǎo)了主軸加工過程中偏擺幅值與軸承剛度等參數(shù)關(guān)系,并給出了各個(gè)方向上運(yùn)動(dòng)剛度。通過建立主軸系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)模型研究了加工過程中質(zhì)量不平衡引起的主軸受迫振動(dòng),并推導(dǎo)出了相應(yīng)動(dòng)態(tài)頻率響應(yīng)。從機(jī)床主軸系統(tǒng)的傳熱機(jī)理著手進(jìn)行分析,建立了主軸系統(tǒng)的熱-機(jī)械模型,推導(dǎo)出了主軸系統(tǒng)內(nèi)部傳遞熱量的計(jì)算依據(jù)。分析了在

4、不同條件熱誤差影響下軸承特性的變化,從而推導(dǎo)出機(jī)床整個(gè)主軸系統(tǒng)的。
  文中利用多體系統(tǒng)理論建立了機(jī)床 X向和Z向?qū)к夞詈系倪\(yùn)動(dòng)誤差模型,針對(duì)空氣靜壓溜板結(jié)構(gòu),根據(jù)氣體潤(rùn)滑理論推導(dǎo)出了雙排節(jié)流空氣靜壓溜板的氣膜壓力分布,得出相應(yīng)承載力公式,氣膜剛度。給出了氣膜厚度變化時(shí)整個(gè)溜板系統(tǒng)頻率變化規(guī)律。建立了運(yùn)動(dòng)溜板和卸荷溜板剛度耦合的動(dòng)力學(xué)模型,推導(dǎo)出了氣膜厚度變化時(shí)溜板沿垂直方向的振動(dòng)響應(yīng)幅值變化規(guī)律,最后得出在整個(gè)氣膜厚度波動(dòng)范圍內(nèi)

5、,剛度耦合的溜板系統(tǒng)響應(yīng)頻率的相應(yīng)變化范圍。
  最后以小波變換為手段對(duì)檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行處理。從主軸回轉(zhuǎn)誤差的檢測(cè)著手進(jìn)行分析,提出了以維爾斯特拉斯函數(shù)建立的主軸綜合回轉(zhuǎn)誤差模型,與實(shí)際檢測(cè)結(jié)果的對(duì)比驗(yàn)證了此模型的正確性與可行性。以互相關(guān)性分析為手段,分別分析了導(dǎo)軌系統(tǒng)和主軸系統(tǒng)誤差與加工面形結(jié)果的相關(guān)性,從而推導(dǎo)出了各誤差對(duì)加工精度的影響程度。以小波方法和功率譜密度方法相結(jié)合,從頻域?qū)?dǎo)軌系統(tǒng)和主軸系統(tǒng)誤差進(jìn)行分析,提取出了機(jī)床相關(guān)

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論