新型壓電掃描器的反饋控制的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、快速控制反射鏡（FSM）廣泛應(yīng)用于空間光通信、天文觀測(cè)、航天技術(shù)、激光雷達(dá)、激光加工、激光三維測(cè)量等領(lǐng)域，是一種可以實(shí)現(xiàn)對(duì)光束方向進(jìn)行精密控制或者快速掃描的核心器件。實(shí)現(xiàn)掃描器的陣列化技術(shù)對(duì)于設(shè)備反應(yīng)速度的提升，以及多功能的集成具有極大的意義。要實(shí)現(xiàn)陣列化技術(shù)，就對(duì)系統(tǒng)的各項(xiàng)性能提出了更高的要求。原來的開環(huán)控制技術(shù)目前暫時(shí)能夠滿足對(duì)系統(tǒng)穩(wěn)定性，響應(yīng)速率等性能的要求，但是采用閉環(huán)控制技術(shù)是更好的選擇。
　　本課題主要研究了一維和二維

2、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的FSM子鏡系統(tǒng)，以及陣列化二維FSM系統(tǒng)的反饋控制技術(shù)。硬件方面，完成了傳感器安裝，系統(tǒng)的電磁兼容性（EMC）設(shè)計(jì)，信號(hào)處理電路的設(shè)計(jì)等內(nèi)容。軟件方面，完成了數(shù)據(jù)采樣及處理，系統(tǒng)模型的建立等內(nèi)容，具體包括以下四個(gè)方面。
　?。?）根據(jù)傳感器特點(diǎn)及應(yīng)用環(huán)境，選定電阻應(yīng)變片作為反饋傳感器，研究并完成了電阻應(yīng)變片的安裝工作和探測(cè)系統(tǒng)的電磁兼容性（EMC）設(shè)計(jì)，獲得了良好的結(jié)果。
　?。?）設(shè)計(jì)了電阻應(yīng)變片的信號(hào)處理電