摩擦驅(qū)動(dòng)微位移試驗(yàn)平臺(tái)的設(shè)計(jì)和研究.pdf

1、微位移技術(shù)在近代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為重要的地位，它直接影響精密、超精密加工精度、精密測(cè)量精度及超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。但是，現(xiàn)在利用微位移技術(shù)研制出的精密及超精密工作臺(tái)中，往往整體性存在缺陷，而且同時(shí)對(duì)環(huán)境的要求嚴(yán)格。本文的目的是通過(guò)對(duì)微位移平臺(tái)的支撐技術(shù)研究，結(jié)合實(shí)際需要，尋找各項(xiàng)性能均衡的設(shè)計(jì)方案，嘗試采用了一種利用摩擦輪驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈的新型工作臺(tái)方案。 本文對(duì)摩擦驅(qū)動(dòng)關(guān)鍵技術(shù)，如柔性鉸鏈和摩擦機(jī)理等進(jìn)行了深

2、入研究。對(duì)柔性鉸鏈模型進(jìn)行闡述，通過(guò)有限元分析了柔性鉸鏈模型。其次，介紹了摩擦輪傳動(dòng)的類型與其應(yīng)用范圍，分析了摩擦輪理論和傳動(dòng)的工作原理和驅(qū)動(dòng)鉸鏈的摩擦輪。 本文在深入研究摩擦驅(qū)動(dòng)理論上，擬定了該實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)方案，對(duì)該系統(tǒng)的硬件設(shè)計(jì)和軟件設(shè)計(jì)進(jìn)行討論，開(kāi)發(fā)和設(shè)計(jì)了用于控制摩擦驅(qū)動(dòng)微位移試驗(yàn)平臺(tái)的控制系統(tǒng)，通過(guò)上位機(jī)控制單片機(jī)系統(tǒng)，來(lái)驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈完成微位移動(dòng)作，體現(xiàn)了較好的操作性和可靠性。 最后對(duì)微位移平臺(tái)進(jìn)行了性能試驗(yàn)