新型微位移機構(gòu)的設(shè)計和分析計算.pdf

1、目前實現(xiàn)單向或者X、Y兩個方向平動的微位移工作臺在結(jié)構(gòu)上已經(jīng)比較成熟，由最初的內(nèi)外兩層嵌套式結(jié)構(gòu)發(fā)展到現(xiàn)在的雙層柔性鉸鏈桿十字對稱一體化結(jié)構(gòu)，從原理上消除了不同方向之間的耦合位移，定位精度高，且微位移工作臺的幾何尺寸大為減小。但柔性鉸鏈微位移工作臺還沒有實現(xiàn)X、Y、Z三個方向的無耦合平動，為此本課題設(shè)計了一款三維無耦合微位移工作臺，實現(xiàn)X、Y、Z三個方向的無耦合平動。本課題首先查閱了大量的微位移工作臺相關(guān)文獻資料，在對國內(nèi)外現(xiàn)有的柔性鉸

2、鏈微位移工作臺的結(jié)構(gòu)和工作原理總結(jié)和分析的基礎(chǔ)上，確定了三維無耦合微位移工作臺的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計方案——平面、空間柔性鉸鏈形成雙層柔性鉸鏈桿十字對稱結(jié)構(gòu)，并介紹了三維無耦合微位移工作臺的具體結(jié)構(gòu)及其工作原理，該工作臺從原理上消除了空間三個方向之間的耦合位移;然后對平面和空間直圓型柔性鉸鏈進行了力學分析，推導了平面和空間直圓型柔性鉸鏈的轉(zhuǎn)角剛度的理論計算公式，通過有限元分析計算進行了驗證;對三維無耦合微位移工作臺的位移和應(yīng)力進行了有限元分析計