版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、微驅(qū)動器作為微機(jī)械電子系統(tǒng)的核心部件,一直是微型機(jī)械電子系統(tǒng)(MEMS)的研究熱點(diǎn)。壓電微驅(qū)動器是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng),把電能轉(zhuǎn)化成機(jī)械能的換能器,由于其具有結(jié)構(gòu)簡單、響應(yīng)速度快、高頻適用性強(qiáng)、驅(qū)動和處理電路簡單等優(yōu)點(diǎn),在超聲檢測、精密位移和定位、聲學(xué)及力學(xué)量的檢測等方面已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。 本文的研究重點(diǎn)是壓電雙晶梁微驅(qū)動器和無閥壓電微泵。針對兩類驅(qū)動器存在的問題,合理地選擇微驅(qū)動器的微加工工藝和加工材料,制備結(jié)構(gòu)合理、
2、性能優(yōu)良的壓電雙晶片微驅(qū)動器以及性能穩(wěn)定可靠、驅(qū)動電壓較低、易于控制的壓電無閥微泵。具體開展的工作主要有以下幾個方面: 1)壓電薄膜水熱合成法制備工藝研究及其性能表征。本文詳細(xì)研究了水熱合成法制備PZT薄膜的工藝過程,并利用水熱合成法制備了不同厚度的PZT壓電薄膜。同時深入研究了其特征和性能。通過XRD、SEM方法對已制備的PZT壓電薄膜進(jìn)行組分和表面形貌分析;利用CCD設(shè)備測量了薄膜的厚度,研究了薄膜生長速率、質(zhì)量增量和生長次
3、數(shù)之間的關(guān)系;并進(jìn)一步對薄膜的鐵電性進(jìn)行了實(shí)驗研究;最后確定了水熱法制備PZT壓電薄膜的極化方向。同時利用單步水熱法制備了PZT薄膜并對其性能進(jìn)行表征,把PZT性能研究結(jié)果與雙步水熱反應(yīng)制備的PZT薄膜性能進(jìn)行了比較。 2)PZT壓電薄膜雙晶片微驅(qū)動器結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化、制備及其驅(qū)動性能研究。本文利用ANSYS對壓電雙晶片微驅(qū)動器結(jié)構(gòu)參數(shù)與驅(qū)動性能之間的關(guān)系進(jìn)行仿真分析,為微驅(qū)動器特征尺寸的選擇提供了理論依據(jù)。利用水熱法及微加工工藝制
4、備PZT薄膜壓電雙晶片驅(qū)動器,并對所制備的雙晶片驅(qū)動器進(jìn)行模態(tài)分析,得到其前四階共振頻率及相對應(yīng)的振型。建立了衡量PZT薄膜壓電雙晶片驅(qū)動器驅(qū)動性能的彎曲位移模型,利用該模型及實(shí)驗數(shù)據(jù)計算得到了PZT壓電薄膜的壓電系數(shù)d31。最后通過實(shí)驗方法分析了壓電雙晶片驅(qū)動器的驅(qū)動能力。 3)無閥壓電微泵的理論分析、樣機(jī)制備及其性能測試。對無閥微泵的工作原理和流動特性進(jìn)行了理論分析,為微泵結(jié)構(gòu)的尺寸選擇提供了理論依據(jù)。同時詳細(xì)敘述了微泵制備
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 基于壓電纖維的微驅(qū)動器特性研究.pdf
- 壓電微步進(jìn)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的研究.pdf
- BFO、PZT基壓電陶瓷及PZT基多層壓電陶瓷驅(qū)動器的制備和性能研究.pdf
- 基于MEMS技術(shù)新型壓電微驅(qū)動器的研制.pdf
- 輻射場型壓電薄膜驅(qū)動器的優(yōu)化設(shè)計.pdf
- 基于壓電驅(qū)動器的桿結(jié)構(gòu)除冰研究.pdf
- 用于微執(zhí)行器的PZT壓電薄膜制備與表征.pdf
- PZT壓電薄膜的改性研究.pdf
- 壓電陶瓷微位移驅(qū)動器輸出特性的研究.pdf
- 步進(jìn)型旋轉(zhuǎn)壓電驅(qū)動器的研究.pdf
- 基于壓電陶瓷驅(qū)動器的新型氣動閥研究.pdf
- 基于壓電驅(qū)動器的柔性臂扭振控制研究
- 基于壓電驅(qū)動器的柔性臂扭振控制研究.pdf
- 基于壓電驅(qū)動的線性位移以及旋轉(zhuǎn)位移驅(qū)動器的研究.pdf
- 硅基PZT壓電薄膜微傳感器的關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 基于壓電微驅(qū)動器的微光掃描器件的關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 微定位系統(tǒng)中壓電驅(qū)動器建模與控制器設(shè)計.pdf
- 基于靜壓膨脹原理的微位移驅(qū)動器研究.pdf
- 壓電陶瓷物鏡驅(qū)動器驅(qū)動電源技術(shù)研究.pdf
- AFM壓電驅(qū)動器建模與控制研究.pdf
評論
0/150
提交評論