新型激光掃描共焦測頭的設(shè)計和研究.pdf

1、近年來，非接觸測頭的發(fā)展十分迅速，成為探測技術(shù)的一個重要的發(fā)展方向。 新型激光掃描共焦測頭的設(shè)計和研究基于激光掃描共焦顯微檢測法原理，運用了動態(tài)主動調(diào)焦的方法，能夠滿足非接觸測量的要求。只要被測物位于測量光軸上，且在聚光點振動范圍內(nèi)，那么在振動的一個周期內(nèi)總會有兩次光點聚焦于被測靶球表面上。此時光電探測器接收到的光強(qiáng)最大，輸出的電信號也最強(qiáng)。機(jī)械和光路結(jié)構(gòu)的改進(jìn)設(shè)計和研究是論文介紹的重點。把位移量測量轉(zhuǎn)化成對時間差的測量方案是研

2、究的特色。最后，提出了一種新的信號處理方法，得出了實驗結(jié)果。 關(guān)于激光掃描共焦測頭的一切工作都是為了提高其測量性能，主要的工作內(nèi)容如下： 1.簡要介紹了動態(tài)主動調(diào)焦檢測法原理； 2.為了改善光電輸出信號，建立了共焦測頭的數(shù)學(xué)模型；對模型函數(shù)進(jìn)行擬合后，得出了光電信號的仿真曲線。提出了改善輸出信號的有效方法； 3.詳細(xì)介紹了共焦測頭的機(jī)械和光路結(jié)構(gòu)，簡化了光路設(shè)計。闡述了音叉雙透鏡振動機(jī)構(gòu)是測頭的機(jī)械和光學(xué)