基于時間差法的光學共焦式測頭.pdf

1、三坐標測量機作為現(xiàn)代大型精密儀器，在空間三維尺寸測量領(lǐng)域已越來越顯示出它的重要性和廣闊的發(fā)展前景。測頭是三坐標測量機的重要部件。它關(guān)系到測量裝置的測量精度、工作效率和測量功能。按測量方式測頭可以分為接觸式和非接觸式。目前非接觸式激光測頭具有效率高、響應快、沒有摩擦、可測量軟質(zhì)表面等優(yōu)點，已經(jīng)成為測頭發(fā)展的主流。人們希望有更好的、新型的、簡單易用的非接觸測頭可以滿足形貌質(zhì)量控制的要求。本文針對非接觸測頭這一領(lǐng)域開展了深入研究，以滿足這方面

2、需求。這種測頭的測量精度高，可達亞微米級，形成的光斑小，可用于微機械系統(tǒng)的檢測。 本文提出了一種全新的測量振動透鏡位移量的方法，這種測量方法不僅回避了直接測量振動透鏡位移量，而且省去了參考光路的使用，應用A/D采樣和單片機技術(shù)，通過測量一路光路的峰值信號與振動零位的時間間隔來間接的得到被測物體相對于測頭零點的位移量大小。使用這種方法進行測量，不但優(yōu)化了結(jié)構(gòu)，降低了成本，而且使應用更方便，更能有效地服務于現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域。