圖案化AAO模板恒流法制備及應(yīng)用.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文采用恒電流密度氧化法，控制電流密度，氧化時間，及氧化溫度在不同電解液中制備了不同孔徑高度有序的AAO模板。隨著電流密度的增大，孔徑提高較大，厚度增大；隨著氧化時間的延長，孔徑會有小范圍的提高，但不明顯，但孔的有序程度會有所提高，膜的厚度在一定范圍內(nèi)，也會有較大提高，但時間提高到到一定程度時，膜厚將不再增長發(fā)生溶解。恒流一定值后模板的有序性會下降，但總體效果還是不錯的，厚度大，有序性高。確定了最佳氧化條件。最佳氧化條件為：在0.3mo

2、l/L草酸中恒流8mA氧化。 此外，還分別以鋁片，玻璃片和AAO模板為基底，使用BP-212型紫外正性光刻膠，進(jìn)行光刻工藝條件的研究，找到了在本實驗條件下的穩(wěn)定光刻工藝。最佳的光刻工藝條件為：勻膠量為0.2ml，勻膠低速轉(zhuǎn)速為600r/min，時間為5s，高速轉(zhuǎn)速為2500r/min，時間為30s。前烘時間為15min，曝光時間為50s，顯影時間為20s，后烘時間15min。 采用紫外線光刻技術(shù)在鋁片上生成了預(yù)設(shè)圖案，利

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