微小行星輪減速器構件微細電加工技術的研究.pdf

1、隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)的發(fā)展，微細加工技術成為現(xiàn)代制造技術的一個重要發(fā)展方向。其中微小零件的加工技術的研究有著重要的意義和廣闊的發(fā)展前景。微細電加工技術是實現(xiàn)微細加工行之有效的方法之一，以其獨特的加工方法及較高的性價比得到了迅速的發(fā)展，并在許多微型機械生產領域發(fā)揮了重要的作用。
　　微齒輪減速器是MEMS中一種重要的微機械傳動裝置，主要用于傳遞動力和運動，加大負載能力,具有極大的應用和商業(yè)價值。微型行星齒輪傳動機構傳動具有體積

2、小、重量輕、傳動比大、承載能力高、傳動效率高、工作平穩(wěn)等優(yōu)點,在MEMS中應用前景廣泛，其相關構件也是MEMS中微小零件中，極具代表性的。因此，對其設計制造的相關研究有著重要意義。微細電火花成型加工與微細電火花線切割加工在微細加工領域都有著其獨有的優(yōu)勢，但同時又存在著一定不足，受到一定限制。因此，本文中以微小行星輪減速器構件的加工為對象，對微小構件的微細電火花成型加工技術和微細線切割技術結合的微細電火花加工技術進行研究，加工出滿足MEM

3、S對零件的要求的微小復雜結構的構件，使其工藝技術合理化、實用化。
　　基于微齒輪和普通齒輪之間存在的區(qū)別，考慮兩者在尺寸、力學性能,加工方法和裝配方式方面的差異，設計一個微型行星輪減速器。為滿足微型齒輪傳動的要求,引入選用了Logix齒輪的新型齒輪齒形。研究表明，Logix齒輪不但在相同條件下各項強度均好于漸開線齒輪,而且可以設計成少齒數(shù)齒輪，易于實現(xiàn)產品的小型化,此外它還克服了圓弧齒輪的缺點，能制成直齒輪,適合進行電火花線切割加

4、工。根據(jù)Logix齒形的數(shù)學模型,應用Matlab軟件進行計算生成Logix齒輪齒形,并進行相關校驗后,建立Logix齒輪的模型,完成Logixc齒輪的微型行星齒輪減速器模型,經后處理生成微型行星齒輪減速器齒輪輪齒加工所需用數(shù)控程序。
　　最后，針對微型行星齒輪減速器各構件加工的工藝進行研究,將MWEDM與MEDM中的分層銑削技術、微細孔加工技術和反拷加工技術相結合，加工出多種具有復雜結構的微型行星齒輪減速器構件(包括帶軸中心齒輪