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文檔簡介
1、南京航空航天大學碩士學位論文基于微細球頭狀電極的微小孔電解加工技術研究姓名：孟冬申請學位級別：碩士專業(yè)：機械制造及其自動化指導教師：李寒松201012基于微細球頭狀電極的微小孔電解加工技術研究IIAbstractWiththedevelopmentofMicroElectroMechanicalSystem(MEMS)partscomponentsbecomemememiniaturizedsize.Crespondinghighqua
2、litymicroholeprocessingiscausedmemeattention.Electrochemicalmachining(ECM)hasmanyadvantagesofgoodsurfaceroughnessnoheataffectedlayeronthemachinedsurface.becausematerialisdissolvedattheunitsofanatomitcouldproducenanopreci
3、sionpartsinthey.TherefemicroECMshowsgreatdevelopmentpotentialprospectinmicromachiningcausingmemeconcernofresearchers.HoweverECMwasnotusuallyusedfmicrodrillingbecauseofthetapergeneration.Inthisthesisthestraightdeepholeswi
4、thafewmicrometersdiameterisdrilledbyusingmicrosphericalelectroderegulatingthemachiningconditions.Researchwkswerelistedasfollows:(1)Anewmethodoffabricatingmicrosphericalelectrodehasbeenpresented.Microsphericalelectrodecou
5、ldbefabricatedbymicroECMwithonepulseelectrodisge(OPEG)technology.Thekeyfactssuchasthewkingpolaritythewkingvoltagetheelectricdisgedurationthepeakcurrentsoonwhichimpactthefabricationofthemicrosphericalelectrodewasstudied.H
6、ighqualitymicrosphericalelectrodewerefabricatedsuccessfully.(2)Electrochemicalmicrodrillingusingmicrosphericalelectrodeultrashtpulsesisstudiedinthisthesis.Toobtainastraightdeepmicroholetheeffectsofthevoltagethepulseontim
7、ethepulseperiodfeedrateonthelocalizationdistancewereinvestigated.Highqualitystraightmicroholeswith42mdiameterin70mthicknessnickelfoilweredrilledusingmicrosphericalelectrodewith30mdiameter.Keywds:microelectrochemicalmachi
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