版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、當(dāng)前,聚合物微流控芯片在各種不同的應(yīng)用領(lǐng)域成功取得了越來越多的認(rèn)同,例如分析化學(xué)、生物學(xué)、制藥、化學(xué)合成系統(tǒng)等。除了功能的改善與提高,這一成功主要?dú)w功于微流控芯片制造成本的降低。在微流控芯片的制造過程中,鍵合是關(guān)鍵步驟之一。到目前為止,針對(duì)微流控芯片的鍵合,嘗試了許多方法,如直接熱鍵合、膠粘接、激光焊接鍵合、表面改性等。用超聲波塑料焊接方法實(shí)現(xiàn)微流控芯片的鍵合,是新興的鍵合方式。與常用的直接熱鍵合相比,具有效率高、變形小、可實(shí)現(xiàn)選擇封裝
2、等優(yōu)點(diǎn)。 為了實(shí)現(xiàn)聚合物微流控芯片的超聲波鍵合,本文設(shè)計(jì)制作出同時(shí)帶有能量引導(dǎo)微結(jié)構(gòu)和微溝道的PMMA基片,成功實(shí)現(xiàn)了帶有十字微溝道的PMMA微流控芯片的超聲波鍵合。主要工作包括: 1.能量引導(dǎo)微結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)首先通過對(duì)超聲波塑料焊接的原理與焊接頭設(shè)計(jì)原則的研究,設(shè)計(jì)出截面形狀為等腰三角形、頂角為70.52°、底邊寬150μm的能量引導(dǎo)微結(jié)構(gòu),與待鍵合微溝道位于同一基片上,確定用硅模具熱壓的方法制備PMMA基片,實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)的
3、制作。 2.硅模具的制作工藝通過套刻和二次各向異性腐蝕方法,制作出用于熱壓同時(shí)帶有能量引導(dǎo)微結(jié)構(gòu)和微溝道的PMMA基片的硅模具,外形尺寸為52mm×27mm×1mm。 3.熱壓法制備PMMA基片借助Taguchi正交實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)對(duì)熱壓參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,在熱壓溫度140℃,壓力1.65MPa,保壓時(shí)間300s的參數(shù)條件下,制作出了具有較高復(fù)制精度的同時(shí)帶有能量引導(dǎo)微結(jié)構(gòu)和微溝道的PMMA基片,外形尺寸為50mm×25mm×2mm。
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 聚合物微流控芯片超聲波鍵合方法研究.pdf
- 塑料微流控芯片超聲波鍵合機(jī)理的仿真與實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 聚合物微流控芯片超聲波熔融鍵合技術(shù)研究.pdf
- 聚合物微流控芯片模內(nèi)鍵合溫度控制與鍵合工藝研究.pdf
- 塑料微流控芯片微通道熱壓成形及鍵合工藝研究.pdf
- 家用超聲波洗衣機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
- 基于結(jié)構(gòu)與流場分析的超聲波流量計(jì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì).pdf
- 超聲波對(duì)微流控芯片注塑成型質(zhì)量影響的研究.pdf
- 基于Si-SOI鍵合的微電容超聲波換能器設(shè)計(jì).pdf
- 超聲波洗衣機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)論文.doc
- 單細(xì)胞捕獲微流控芯片的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及其流場研究.pdf
- 家用超聲波洗碗機(jī)整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
- 家用超聲波洗碗機(jī)整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
- 超聲波洗衣機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)論文.doc
- 基于PMMA的微流控芯片鍵合技術(shù)研究.pdf
- 家用超聲波洗碗機(jī)整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì).doc
- 家用超聲波洗碗機(jī)整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì).doc
- 壓電微泵研制及閥組的超聲波鍵合研究.pdf
- ITO玻璃電化學(xué)微流控芯片制作及低溫鍵合工藝研究.pdf
- 聚合物微流控芯片模內(nèi)鍵合微通道變形研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論