非晶軟磁薄膜巨磁阻抗效應(yīng)及應(yīng)力阻抗效應(yīng)研究_第1頁
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1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文非晶軟磁薄膜巨磁阻抗效應(yīng)及應(yīng)力阻抗效應(yīng)研究姓名：張亞民申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：陳吉安20050101上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要ii濺射功率600W濺射中施加外磁場為16KAm2.實驗研究發(fā)現(xiàn)非晶態(tài)FeCuNbCrSiBCuFeCuNbCrSiB三明治結(jié)構(gòu)多層膜的GMI變化率最大值可達(dá)21%左右而相同厚度的FeCuNbCrSiB單層膜的GMI變化率最大值僅有4.3%左右并且各層寬度對

2、樣品的GMI效應(yīng)也有很大的影響最佳寬度比為1.6m0.8m1.6m3.實驗研究發(fā)現(xiàn)曲折狀三明治結(jié)構(gòu)FeCuNbCrSiBCuFeCuNbCrSiB多層膜的GMI變化率最大值可達(dá)65%左右另外研究發(fā)現(xiàn)各層寬度對樣品的GMI效應(yīng)也有很大的影響最佳寬度比約為1.0m0.4m1.0m4.以硅為基體制備出曲折狀三明治結(jié)構(gòu)FeCuNbCrSiBCuFeCuNbCrSiB多層膜懸臂梁力敏器件并對其SI效應(yīng)及寬度效應(yīng)進(jìn)行了研究研究發(fā)現(xiàn)該結(jié)構(gòu)的SI變化率

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