雷妮紹激光干涉儀的使用

1、雷尼紹激光干涉儀的使用,設(shè)備部：杜康,第一步：激光干涉儀的安裝,三腳架的固定；激光頭的安裝與固定；補償器XC（包括環(huán)境空氣溫度傳感器和工作臺表面溫度傳感器）的安裝與固定；激光頭和補償器通過數(shù)據(jù)線與計算機的連接；激光頭電源線的連接； （現(xiàn)場演示）按下激光頭電源按鈕，預(yù)熱5~6分鐘，直到指示燈變?yōu)榧t色表示預(yù)熱完成；找到“開始?Renishaw LaserXL?線性測長”，單擊打開雷尼紹測量軟件。,,機床預(yù)熱：機床各

2、軸在勻速狀態(tài)下運轉(zhuǎn)10分鐘左右。,第二步：激光光路對正（見附圖）,掌握干涉鏡和反射鏡的安裝方法（根據(jù)測量軸的不同，安裝方法有所不同，注意觀察箭頭所指方向，激光從箭頭尾部射入）；將機床各軸原點復(fù)歸；微調(diào)方式下，調(diào)整干涉鏡和反射鏡的位置，使兩者靠近，目測能夠盡量上下左右對齊；移動三腳架使激光頭的光源穿過干涉鏡，此時能夠看到2個光點；微調(diào)方式下，調(diào)整機床側(cè)使2個光點重合；轉(zhuǎn)動激光頭，觀察激光頭上方的LED燈點亮情況（5個全亮最好）

3、微調(diào)方式下，將測量軸遠(yuǎn)離干涉鏡，直到LED燈只剩一個時停止移動，此時調(diào)整激光頭的各個微調(diào)旋鈕等，直到將光路再次調(diào)整到5個LED燈全亮；微調(diào)方式下，將測量軸再次遠(yuǎn)離干涉鏡，重復(fù)第7）步，直到測量終點處，此時，反向搖回來，觀察LED燈，保證到起點處均保持5個LED燈全亮，若不能滿足，則繼續(xù)調(diào)整至全亮。,第三步：機床程序編制及參數(shù)設(shè)定,編制測量運行程序（根據(jù)測量軸和測量行程修改相應(yīng)程序）；坐標(biāo)系中，G54中將對應(yīng)軸清0；模式打到“程序運

4、行”，倍率打至0%；,,,第四步：軟件設(shè)置,采集來自環(huán)境空氣溫度值、物體表面溫度值；物體膨脹效應(yīng)補償：不帶光柵尺的為11.7/帶光柵尺的為8.0；,,,,點擊軟件最左邊第一個工具，進入設(shè)置對話框；采集數(shù)據(jù)設(shè)定第一項： 設(shè)置第一定位點， 最終定位點 ， 間距值，完成后進入 下一項；,,,采集數(shù)據(jù)設(shè)定第二項：定位方式選擇“線性定位方式”，測量次數(shù)

5、一般設(shè)為2，選擇方向為“雙向”，其他不變，點擊進入下一項,采集數(shù)據(jù)設(shè)定第三項，填寫“機器名稱”、“軸”等信息；,采集數(shù)據(jù)設(shè)定第四項：越程量大小改為：0.0000mm 其他保持不變， 點擊完成設(shè)定。,第五步：執(zhí)行測量程序,打開倍率旋鈕開關(guān)，將程序中第一步的1mm余量走完后，再次關(guān)閉倍率旋鈕；軟件清0（注意正負(fù)號），打開倍率旋鈕，即可自動執(zhí)行程序采集測量數(shù)據(jù)，繪制測量曲線；等待程序執(zhí)行完畢后，按“回車

6、”鍵結(jié)束，機床側(cè)按“RESET”鍵結(jié)束程序執(zhí)行。,第六步：分析測量數(shù)據(jù),點擊“分析數(shù)據(jù)”，進入數(shù)據(jù)分析窗口；,,點擊“分析數(shù)據(jù)”選擇一個標(biāo)準(zhǔn)，點擊進行曲線分析機床的各項指標(biāo)；,,若檢測下來機床的精度需要提高，則可按照當(dāng)前檢測結(jié)果進行補償，點擊“誤差補償圖表”；,,彈出誤差補償表格窗口：圖表類型選擇“均值補償”、補償分辨率設(shè)為1、正負(fù)符號轉(zhuǎn)換選擇“補償值”、參考點位置為0.0000mm、補償起點和補償終點依情況而定、補償間隔為20.000

7、0mm,點擊“繪制誤差補償圖表”。,,,按照均值補償值對機床進行補償，若發(fā)現(xiàn)補償值中有數(shù)據(jù)大于8，則需修改第4）步的補償分辨率進行調(diào)整，同時，機床參數(shù)3623也要做相同修改，重新生成補償值再補入機床。補償時，注意-20mm對應(yīng)位置，按照均值補償表從下往上依次補入，補完即可。（參考參數(shù)3620）,,重新測量之后，觀察測量曲線變化情況，與未補償前的測量數(shù)據(jù)進行對比分析，觀察補償后的機床精度是否有所改善。,第七步：輸入補償值之后，再次測量,注

8、意及時保存需要的測量數(shù)據(jù)！,附錄：激光干涉儀加工中心測量程序（X軸）O0400 G0 G90 X1. ； （主程序）G4 X1. ；X0；G4 X4. ；M98 P0401 L14 ；X-1. ；G4 X1. ；X1. ；G4 X4 ；M98 P0402