激光干涉儀跟蹤式無導軌測量的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、激光是一種新型的光源，廣泛應用于國民經濟的各個部門。尤其激光具有良好的穩(wěn)定性和再現(xiàn)性，特別適合于精密計量。以激光作光源的干涉儀是一種高精度的計量儀器。目前國內外對中小尺寸的測量技術日趨完善，出現(xiàn)了許多測量中小尺寸零件的新方法、新儀器，這些基本能夠滿足現(xiàn)代化大生產的要求。但是，在大型機械設備的制造、安裝過程中，大型工件的幾何尺寸和形位誤差的測量和質量控制是保證整套設備質量的關鍵因素之一。因而，大型零部件、組裝件的整體外形幾何參數(shù)和形位誤差

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