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文檔簡介
1、1Hitach(日立)(日立)S4800型掃描電子顯微鏡培訓(xùn)材料型掃描電子顯微鏡培訓(xùn)材料一、注意事項(xiàng):一、注意事項(xiàng):1、嚴(yán)禁沒有操作資格的人員操作電鏡;2、操作人員要嚴(yán)格按照操作規(guī)程進(jìn)行操作,在儀器產(chǎn)生異常時要及時報告所有事實(shí);3、樣品制備嚴(yán)格按照要求進(jìn)行,特別是磁性樣品;4、嚴(yán)禁在實(shí)驗(yàn)室吃東西,保持實(shí)驗(yàn)室清潔衛(wèi)生;5、不允許在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)使用水槽;6、禁止在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)使用產(chǎn)生大量粉塵的物質(zhì);7、不得在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)大聲喧嘩、擾亂正常工作;8、注意
2、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)濕度應(yīng)該在60%以下,注意下水管漏水情況。培訓(xùn)加考核共培訓(xùn)加考核共6個半天。必須按時到場,認(rèn)真學(xué)習(xí),不允許半途離開。個半天。必須按時到場,認(rèn)真學(xué)習(xí),不允許半途離開。培訓(xùn)考核結(jié)束之后,每人進(jìn)行操作的前兩次必須有熟練人員陪同,并要培訓(xùn)考核結(jié)束之后,每人進(jìn)行操作的前兩次必須有熟練人員陪同,并要求陪同人員在使用登記表上簽字。求陪同人員在使用登記表上簽字。39、如何取樣:(1)按OPEN按鈕,打開交換艙與真空艙之間的隔閥,打開后會有“嘀—
3、—”的響聲。把進(jìn)樣桿送到底,LOCK,用手推住交換艙艙門,拉回進(jìn)樣桿,拉到底。注意觀察樣品臺是否跟樣品桿一起退出。(2)按CLOSE按鈕,關(guān)閉隔閥。(3)按AIR按鈕,向交換艙充氣,聽到“嘀——”的響聲,打開艙門,取出樣品。(4)把樣品桿拉回到底,關(guān)上艙門,按EVAC抽氣。進(jìn)樣每人練習(xí)進(jìn)樣每人練習(xí)2次。次。10、進(jìn)樣之后,點(diǎn)擊控制軟件中的On按鈕,加高壓(加速電壓),一般加速電壓為10kV。日立工程師推薦是5KV以下。11、低倍(HL按
4、鈕中的L)下尋找樣品,高倍(HL按鈕中的H)下觀測。放大樣品,尋找感興趣的區(qū)域。12、軟件中WD選擇5.0mm,手動調(diào)節(jié)樣品高度Z到樣品聚焦清楚,手動調(diào)手動調(diào)節(jié)高度時要非常注意,千萬不能使樣品高度節(jié)高度時要非常注意,千萬不能使樣品高度Z的數(shù)值過小,否則樣品可能碰的數(shù)值過小,否則樣品可能碰到物鏡而對它造成損傷!到物鏡而對它造成損傷!這是最關(guān)鍵的問題!13、點(diǎn)擊Align按鈕,進(jìn)行各個光闌的對中調(diào)節(jié)。一般在低倍調(diào)節(jié)好束流對中,其它倍數(shù)下不會
5、變化。而其余光闌對中、消像散對中等需要在高倍數(shù)下進(jìn)行對中。這是做出高質(zhì)量照片的基本步驟。14、對圖像進(jìn)行聚焦、消像散操作,對亮度對比度調(diào)節(jié)。15、掃描照片,可以采取多種掃描方式:快掃(Fastcapture)、慢掃(slow或redcapture)、直接存儲等。16、掃描結(jié)束后,①按Home鍵,使樣品臺X、Y歸零。②手動把樣品高度Z調(diào)到8.0mm。③去掉高壓OFF。每次取樣前確定每次取樣前確定①②③步驟步驟。17、現(xiàn)在可以按照前面取樣步
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