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1、西安電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文MOS器件的HPM輻照效應(yīng)研究姓名:查薇申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專(zhuān)業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:賈新章20080101A b s t r a c tA b s t r a c tW e c o n d u c t e d a r e s e a r c ho nH P M R a d i a t i o nE f f e c t sO nM O S F E T i no r d e r t o s e tt e
2、 c h n i cf o u n d a t i o nf o rm i l i t a r ya n a l o gI C ’SA n t i - r a d i a t i o n d e s i g n .T h i sr e s e a r c hu s e sM O S F E T 0 0 0 1 a n d 0 0 0 2 a st h eo b j e c ta n dp r o c e e d se x p e r i
3、 m e n tb y i n t r o d u c i n g d i r e c ti n j e c t i o nm e t h o d .T h e f a i l u r em o d e sa n d f a i l u r e m e c h a n i s ma r es t u d i e d ,a n dt h ef a i l u r em o d e li s e s t a b l i s h e d .B
4、 yc o m p a r i n gt h em o d e lp a r a m e t e r sb e f o r ea n d a f t e rt h eH P MR a d i a t i o n ,a n d b a s e do nd e v i c e p h y s i c st h e o r ya n ds t a t i s t i c a l a n a l y s i s ,w e g i v et h
5、ep r o p o s e dt e c h n o l o g y c o u n t e r m e a s u r e sT h i St h e s i s a l s o c o n s i d e r st h ee f f e c to f t h ei n s t n m a e n tp r e c i s i o no nt h e p a r a m e t e re x t r a c t i o n r e
6、s u l t s .A n df i n a l l y s u g g e s t i o n s f o r M O S ’S H P M s t r e n g t h e n i n g a r e p r o p o s e d .K e y w o r d :H i g h P o w e r m i c r o w a v e M O S F E T M o d e l P a r a m e t e r e x t r
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