爪型干式真空泵的優(yōu)化設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、伴隨著工業(yè)5.0的到來,工業(yè)上對真空泵的需求與日俱增,使用者對其要求也越來越高。爪型干式真空泵是眾多干式真空泵中的一種,目前被廣泛應用到航天、半導體、制藥、化工等行業(yè)。由于國內對爪型干式真空泵的研究工作起步比較晚,因此國內市場所使用的高端泵仍然需要從外國進口,因此價格也明顯的高于國外。為了滿足高新技術產(chǎn)業(yè)和特殊使用場合的需求,國內有多所高校和科研院所致力于開發(fā)、研究爪型干式真空泵。本論文以爪型干式真空泵為研究對象,對單級爪型干式真空泵的

2、整體結構,轉子型線設計以及密封問題等內容進行了深入的研究和探討。
  主要完成了以下工作:(1)論文介紹了國內外針對干式真空泵的一些研究現(xiàn)狀,闡述了干式真空泵的概念和分類以及爪型干式真空泵的結構、工作原理和工作過程;(2)對爪型干式真空泵的整體結構和關鍵零部件進行了設計。主要包括泵腔的設計、轉子的設計、傳動軸的設計、校核及受力分析,密封結構設計、齒輪以及電機的選擇;(3)設計了一種新型爪型干式真空泵轉子?,F(xiàn)有的爪型干式真空泵轉子在

3、位于爪頂與爪頂端圓弧相連接的地方會有兩個尖點,完成的是點與曲線相嚙合的工作過程,這種工作過程會產(chǎn)生很多弊端。針對這個問題本論文巧妙的將尖點去掉,使得轉子在工作過程中避免了點與曲線的嚙合,從而完成圓弧與曲線相嚙合的工作過程;通過輕量化設計使得轉子重量減輕了1/4到1/5,有效地減少了原材料消耗并使其在工作中降低了能耗;對轉子的動平衡進行了分析,并通過Pro/e軟件驗證了改進后轉子的平衡性;把爪型干式真空泵工作特性模擬的壓力場、溫度場的分布

4、作為加載條件,利用有限元分析軟件得到了在介質壓力作用下轉子所受的應力情況。(4)將新型磁流體密封技術應用到爪型干式真空泵中。介紹了新型磁流體密封技術的原理,設計了新型磁流體密封結構并裝配到爪型干式真空泵上,利用ANSYS有限元分析軟件對所設計的新型磁流體密封結構進行了磁場分析,驗證了新型磁流體密封技術滿足密封耐壓要求,并通過對比試驗驗證了磁流體密封技術性能的優(yōu)越性。
  通過對爪型干式真空泵進行優(yōu)化設計,其性能得到顯著提升,為后續(xù)

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