多級干式羅茨真空泵實際抽速計算的研究.pdf

1、近年來，隨著電子工業(yè)、化學工業(yè)、薄膜及冷凍干燥行業(yè)的蓬勃發(fā)展，越來越多的行業(yè)要求有清潔的、沒有油蒸汽存在的真空環(huán)境作為其生產(chǎn)基礎(chǔ)，因此市場對性能優(yōu)異的羅茨泵的需求也越來越迫切。在羅茨泵的設(shè)計實踐和性能計算中，尤其是在計算羅茨泵的實際抽速和極限壓強等性能指標時，需對間隙泄漏量進行精確計算。目前，在間隙泄露量方面多為經(jīng)驗公式，而且沒有考慮管道尺寸變化和轉(zhuǎn)子運動對流導的影響，因此理論計算與實際值有較大差距。
　　 在設(shè)計與制造羅茨泵時

2、，往往先根據(jù)技術(shù)指標進行理論設(shè)計，然后依據(jù)設(shè)計尺寸生產(chǎn)樣品進行實驗驗證。實驗與理論的差距導致我們需對設(shè)計進行修正與改進，隨后生產(chǎn)樣品進行再驗證，這樣無疑會消耗大量的時間與財力。本課題主要研究了羅茨泵間隙泄漏量的建模以及考慮(?)子不平衡產(chǎn)生的變形量和泵體熱變形對間隙通道的影響等，并對這些因素進行了改進。
　　 文中總結(jié)了考核羅茨泵性能所涉及的指標及其計算方法，簡單描述了間隙泄漏的幾種情況。并對前人的科技成果作出了改進，推導了粘滯

3、流、過渡流及分子流三種流態(tài)下矩形復雜管道的流量計算公式，為推導羅茨真空泵的間隙泄漏打下了基礎(chǔ)。
　　 在改進的計算公式的基礎(chǔ)上，本文介紹了圓弧、漸開線和擺線這三類常見的羅茨轉(zhuǎn)子的型線方程、工作時的特征尺寸和嚙合過程，推導了這些型線在各種流態(tài)下的泄漏量計算方法。借助高等數(shù)學的原理和多種數(shù)學軟件，編寫了計算程序，方便、快捷地求得結(jié)果。接下來，對羅茨泵樣機的泄漏量與性能指標進行了計算，并與未修正前計算值以及實測值進行了對比分析。