光柵尺的快速精度檢測與誤差補(bǔ)償系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代制造工業(yè)的快速發(fā)展，人們對(duì)微小角度與位移的測量提出了越來越高的要求，光柵尺憑借其測量精度高、抗干擾能力強(qiáng)、可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測量等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)成為了精密測量的主流應(yīng)用產(chǎn)品。
　　我國進(jìn)入光柵尺研究領(lǐng)域的時(shí)間較晚，現(xiàn)階段只能生產(chǎn)精度不高的增量式光柵尺，而在絕對(duì)式光柵尺研究方面更是處于剛起步的階段。
　　精密光柵尺作為光、機(jī)、電一體化的產(chǎn)品，其測量精度容易受到光柵尺自身制造誤差、裝夾誤差及溫度等多種因素干擾，因此有必要對(duì)光柵尺進(jìn)行

2、精度檢測及誤差補(bǔ)償，而對(duì)于光柵尺生產(chǎn)企業(yè)而言，其需要保證每一個(gè)光柵尺產(chǎn)品能夠達(dá)到設(shè)計(jì)的測量精度標(biāo)準(zhǔn)，因此對(duì)于大批量光柵尺的快速精度檢測與誤差補(bǔ)償系統(tǒng)研究具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。
　　本文在充分吸收前人研究成果的基礎(chǔ)上，首先深入地分析了增量式與絕對(duì)式光柵尺的工作原理、通信方式及造成其測量誤差的主要因素，并以分析結(jié)果為依據(jù)提出了大批量光柵尺精度檢測與補(bǔ)償?shù)目傮w方案。
　　其次，搭建了光柵尺精度檢測平臺(tái)，并且詳細(xì)的敘述了該平臺(tái)的設(shè)計(jì)要

3、點(diǎn)與難點(diǎn)，包括氣浮運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)、高精度位置反饋儀器與檢測平臺(tái)基座材料的選擇。
　　再者，設(shè)計(jì)了光柵尺數(shù)據(jù)采集卡，解決了增量式光柵尺和絕對(duì)式光柵尺位置數(shù)據(jù)的高速同步采集、激光干涉儀的同步觸發(fā)、利用Biss協(xié)議對(duì)絕對(duì)式光柵尺進(jìn)行快速的讀寫操作、數(shù)據(jù)采集卡與上位機(jī)的高速通訊這四大問題。
　　最后，利用自主設(shè)計(jì)的精度檢測平臺(tái)和光柵尺數(shù)據(jù)采集卡對(duì)某企業(yè)所生產(chǎn)的增量式光柵尺和絕對(duì)式光柵尺均進(jìn)行了精度檢測實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)證明了本文所設(shè)計(jì)的光柵