碘化銦多晶提純及薄膜制備.pdf

1、隨著化石能源的日益枯竭，風(fēng)能、核能和光伏發(fā)電被譽(yù)為是解決全球能源和環(huán)境污染的三大技術(shù)，其中核能的安全利用和檢測(cè)逐漸成為研究熱點(diǎn)。核輻射探測(cè)半導(dǎo)體材料有著廣闊的發(fā)展前景，而碘化銦(InI)晶體以其較大的禁帶寬度，電阻率和載流子遷移率-壽命積，較高的探測(cè)效率和能量分辨率等優(yōu)異性質(zhì)，得到了國(guó)際核輻射探測(cè)材料研究領(lǐng)域的重點(diǎn)關(guān)注。
　　鑒于碘化銦晶體在核輻射探測(cè)等領(lǐng)域的誘人前景，本文主要基于晶體缺陷和薄膜生長(zhǎng)等結(jié)晶學(xué)理論，一方面探討了高純、

2、近化學(xué)計(jì)量比的碘化銦多晶的提純工藝，并對(duì)樣品的組分、結(jié)構(gòu)以及雜質(zhì)濃度進(jìn)行了表征；另一方面探討了制備碘化銦多晶薄膜的具體生長(zhǎng)工藝，通過(guò)對(duì)其結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能的分析細(xì)致探討了碘化銦多晶薄膜應(yīng)用到核輻射探測(cè)器中的可行性。
　　首先，對(duì)碘化銦晶體的能帶結(jié)構(gòu)、晶體結(jié)構(gòu)等基本特性，晶體生長(zhǎng)過(guò)程中幾種常見(jiàn)缺陷的形成機(jī)理及其影響，以及薄膜生長(zhǎng)過(guò)程的各個(gè)階段進(jìn)行了詳細(xì)論述和分析，為接下來(lái)的實(shí)驗(yàn)提供了理論基礎(chǔ)。
　　其次，通過(guò)對(duì)區(qū)熔提純?cè)硪约暗饣?/p>

3、銦多晶特性分析，獲得了適于碘化銦多晶區(qū)熔提純的速率、溫度等工藝參數(shù)。利用水平區(qū)熔法對(duì)碘化銦多晶進(jìn)行了提純，最后通過(guò)X射線粉末衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡-能譜儀(SEM-EDS)以及電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀(ICP-AES)對(duì)提純前后的碘化銦多晶的晶格結(jié)構(gòu)、形貌組分以及雜質(zhì)濃度進(jìn)行了詳細(xì)表征。
　　最后，采用真空蒸發(fā)法制備了碘化銦多晶薄膜，通過(guò)XRD、SEM以及紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)(UV-Vis)對(duì)所制備的碘化銦多晶薄膜晶