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文檔簡介
1、在3~5μm的中波紅外波段,藍寶石因其高耐久性和可用性使其成為紅外窗口的優(yōu)選材料.但是,在溫度升高時藍寶石的強度急劇下降,紅外透過率也滿足不了設計使用要求.因此,在藍寶石表面鍍制增透保護涂層就成為滿足其在高速、高溫下應用的關鍵技術.氮化硅(Si3N4)薄膜具有優(yōu)異的光電、機械性能,并且與藍寶石附著良好,非常適合用作提高藍寶石高溫強度的涂層.在國外,Si3N4薄膜用作藍寶石的增透保護涂層的研究已經展開,并取得進展;而在國內,這方面的研究還
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