檢測危險氣體的石英晶振微天平氣體傳感器的研究.pdf

1、為了彌補傳統(tǒng)氣體傳感器氣體檢測精度不高這一不足，本文使用石英晶振微天平(Quartz Crystal Microbalance，QCM)氣體傳感器對危險氣體進行檢測。實驗過程中，通過對鍍膜工藝的改進，自主研制了旋轉(zhuǎn)鍍膜機，使用旋轉(zhuǎn)鍍膜機進行對石英晶振片的鍍膜，其成膜即快又均勻；在進氣裝置中，采用靜態(tài)塑料袋進氣法，盡可能的排除了環(huán)境當中的干擾因素；使用了實驗組自主編制的基于LabVIEW平臺的QCM氣體傳感器頻率測試程序?qū)y試結(jié)果進行記錄

2、。
　　 本文在一定溫度條件下進行試驗，利用QCM氣體傳感器，主要測試了七種敏感膜對二甲苯氣體和正己烷氣體的響應(yīng)特性。主要對二甲苯氣體及正己烷氣體響應(yīng)特性進行研究，主要測試其響應(yīng)性，穩(wěn)定性，重復(fù)性，以及不同濃度氣體頻率響應(yīng)的線性關(guān)系。通過對實驗數(shù)據(jù)的分析，得出以下結(jié)論：二氧化鈦敏感膜對二甲苯氣體及正己烷氣體的響應(yīng)性和重復(fù)性最好，其穩(wěn)定性較高；二氧化鈦敏感膜對氣體的選擇性最好；二氧化鈦敏感膜與不同濃度的正己烷氣體的響應(yīng)頻率具有良好