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文檔簡介
1、隨著精密機(jī)械加工水平的提高,對工作臺定位精度及行程的要求越來越高。常見工作臺無法兼顧大行程及高精度的兩個指標(biāo)。粗精兩級驅(qū)動工作臺以激光干涉條紋作為測量基準(zhǔn),具有較大的測量量程,并兼具很高的測量精度和分辨率;以電機(jī)和壓電陶瓷作為驅(qū)動源來實(shí)現(xiàn)大量程高分辨率的位移輸出。本文圍繞粗精兩級驅(qū)動工作臺的定位控制展開研究,開發(fā)了一款粗精兩級驅(qū)動工作臺控制系統(tǒng),主要研究工作包括:
1、提出并設(shè)計(jì)了壓電陶瓷驅(qū)動電壓誤差放大電路控制直流穩(wěn)壓電源對
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