大行程壓電微動(dòng)臺(tái)驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、微驅(qū)動(dòng)、定位技術(shù)是當(dāng)今世界各國(guó)研究的熱點(diǎn)問題，是納米測(cè)量及加工技術(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)之一，而微位移致動(dòng)器則是微驅(qū)動(dòng)、定位系統(tǒng)中的重要組成部分。壓電陶瓷致動(dòng)器是目前微位移技術(shù)中比較理想的驅(qū)動(dòng)元件，它的出現(xiàn)開創(chuàng)了精度進(jìn)入納米級(jí)的新時(shí)代。 本文中研究的課題是大行程壓電微動(dòng)臺(tái)的驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)，其主要內(nèi)容和創(chuàng)新點(diǎn)包括： 1、論文系統(tǒng)地介紹了壓電陶瓷的性能參數(shù)及壓電元件等內(nèi)容； 2、著重闡述了壓電微動(dòng)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)原理、總體機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、

2、驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)以及性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)：結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面，采用平臺(tái)式結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)了其實(shí)用性；變傳統(tǒng)單驅(qū)動(dòng)器為雙驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)，采用新穎的根據(jù)尺蠖運(yùn)動(dòng)(Inchwormmotion)原理改進(jìn)的“推—拉”接力運(yùn)動(dòng)原理，配以適當(dāng)?shù)乃穆夫?qū)動(dòng)信號(hào)，使壓電微動(dòng)臺(tái)實(shí)現(xiàn)連續(xù)平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)。系統(tǒng)控制方面，通過單片機(jī)系統(tǒng)產(chǎn)生四路信號(hào)，經(jīng)直流放大器放大后加載到壓電微動(dòng)臺(tái)?？刂瞥绦虿捎肅51軟件編程，以中斷方式實(shí)現(xiàn)波形控制。 3、對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器電源的作用原理、設(shè)計(jì)特點(diǎn)及