竹節(jié)導(dǎo)線中熱殘余應(yīng)力場和晶界孔洞的演化及電遷移引致的夾雜漂移.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文竹節(jié)導(dǎo)線中熱殘余應(yīng)力場和晶界孔洞的演化及電遷移引致的夾雜漂移姓名：陳娜申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：固體力學(xué)指導(dǎo)教師：李中華20080101ThermalresidualstressredistributiongrainboundaryvoidgrowthelectromigrationinducedinclusiondriftInabamboointerconnectAbstractInterconnectfailu

2、reinducedbyelectromigrationthermalmigrationstressmigrationisofaprimaryconcerninintegratedcircuits.Withtheeverincreasingmicrominiaturizationofintegratedcircuitmetalfilminterconnectreliabilityundermultiphysicalfieldshasbec

3、omeamemeimptantscientificproblem.Theinvolutionofvoidthermalresidualstressintheinterconnectisthemajsourceofthefailure.Inthepresentstudyananalyticalexpressionisdevelopedtopredictthermalresidualstressredistributioninapassiv

4、atedbamboointerconnectbasedoncouplingofgrainboundarydiffusionwithinterconnectpassivationinterfacediffusion.Theeffectsofthemicrostructureofinterconnectthestateoftheinitialthermalresidualstressaswellasthediffusivityratiobe

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