微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量的數(shù)字全息顯微方法的研究.pdf

1、微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量的數(shù)字全息顯微方法的研究DigitalMicroholographyanditsApplicationtotheMeasurementof】Ⅵicrostructures學(xué)科專業(yè)：測(cè)試計(jì)量技術(shù)及儀器研究生：殷玉娟指導(dǎo)教師：胡曉東教授天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院二零一零年八月摘要微結(jié)構(gòu)表面形貌的測(cè)量是微納測(cè)試技術(shù)的重要內(nèi)容之一，隨著微納加工技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)其也提出了越來(lái)越高的要求。數(shù)字全息術(shù)是用數(shù)字的方式記錄和存儲(chǔ)

2、物體的全息圖，然后用計(jì)算機(jī)來(lái)再現(xiàn)其振幅和相位，具有全視場(chǎng)、非接觸、高測(cè)量分辨力等特點(diǎn)，因而在表面形貌、形變、粒子場(chǎng)、材料特性等參數(shù)的測(cè)量中得到了較為廣泛的應(yīng)用。數(shù)字全息顯微術(shù)是數(shù)字全息術(shù)和顯微術(shù)結(jié)合的產(chǎn)物，相比于其他微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量技術(shù)出現(xiàn)較晚，雖然目前已得到了國(guó)內(nèi)外很多研究者的關(guān)注，仍存在很多技術(shù)問(wèn)題待于解決。本文針對(duì)微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量的需求，對(duì)數(shù)字全息測(cè)量技術(shù)進(jìn)行了理論分析，設(shè)計(jì)和研制了一套基于馬赫曾德耳干涉儀的數(shù)字全息顯微測(cè)試系

3、統(tǒng)，并對(duì)若干微結(jié)構(gòu)表面形貌的測(cè)量進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。本文的具體工作主要包括：1對(duì)數(shù)字全息術(shù)和微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量的研究動(dòng)態(tài)進(jìn)行了論述，并就數(shù)字全息顯微術(shù)的應(yīng)用特點(diǎn)進(jìn)行了分析；2對(duì)數(shù)字全息術(shù)中的數(shù)字全息的記錄和再現(xiàn)進(jìn)行了理論分析，并設(shè)計(jì)了表面形貌測(cè)量的數(shù)據(jù)處理算法；3設(shè)計(jì)并研制了一套基于馬赫曾德耳干涉儀的數(shù)字全息顯微測(cè)試系統(tǒng)，并編寫了相應(yīng)的測(cè)量軟件；4在所研制的數(shù)字全息顯微測(cè)試系統(tǒng)上開展了微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量的實(shí)驗(yàn)研究，包括測(cè)量精度的評(píng)定、超精密