基于數(shù)字全息顯微技術(shù)的微結(jié)構(gòu)表面形貌和微球位置測量研究.pdf

1、數(shù)字全息顯微技術(shù)具有高分辨率、非接觸、抗震性好、實時、全視場微觀測量等特點,已經(jīng)廣泛應(yīng)用到微結(jié)構(gòu)表面形貌測量、生物醫(yī)學(xué)、粒子流速測量等領(lǐng)域。按參考光與物光的主光線的方向來區(qū)分全息系統(tǒng)可以分為離軸和同軸全息。離軸數(shù)字全息能夠通過單幅全息圖像進(jìn)行實時成像測量通常應(yīng)用在表面形貌測量,同軸數(shù)字全息在粒子場、單分子力譜測量等方面有重要應(yīng)用。
　　本文根據(jù)數(shù)字全息顯微術(shù)的兩種光路結(jié)構(gòu)分別在微結(jié)構(gòu)表面形貌和微球位置測量的應(yīng)用進(jìn)行了理論分析和實驗

2、研究,主要內(nèi)容如下:
　　1.概述了數(shù)字全息顯微技術(shù)的發(fā)展,較為系統(tǒng)和深入地分析了國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀。
　　2.分析了數(shù)字全息顯微技術(shù)在微結(jié)構(gòu)表面形貌測量和微球位置測量中的實現(xiàn)方法。
　　3.基于離軸數(shù)字全息顯微系統(tǒng),提出了在準(zhǔn)確構(gòu)建參考光的基礎(chǔ)上通過對光路的調(diào)整以及軟件的耦合進(jìn)行相位補(bǔ)償?shù)墓饴费a(bǔ)償方法。搭建了離軸數(shù)字全息顯微系統(tǒng),以標(biāo)準(zhǔn)臺階和微孔陣列為實驗對象,對樣品表面進(jìn)行形貌精密測量。同時采用雙曝光法對相位進(jìn)行補(bǔ)償