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文檔簡介
1、該文主要討論了二個(gè)方面的內(nèi)容:最子點(diǎn)形成時(shí)的Ge/Si界面互擴(kuò)散以及硼原子對Ge量子點(diǎn)自組織生長的影響.1.用拉曼光譜研究了外延的Ge層與Si襯底在Ge量子點(diǎn)形成過程中的Ge/Si界面互擴(kuò)散.我們用分子束外延生長了一層完全應(yīng)變的Ge層,退火形成Ge量子點(diǎn).實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)最子點(diǎn)沒有形成之前,Ge/Si界面的互擴(kuò)散很不明顯,最子點(diǎn)一旦形成界面的互擴(kuò)散變得很嚴(yán)重了,量子點(diǎn)的形成加劇了界面的互擴(kuò)散.2.研究了硼原子對Si(100)襯底上的Ge量子點(diǎn)自
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