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文檔簡(jiǎn)介
1、剛性薄膜/彈性基底結(jié)構(gòu)中,利用兩者的彈性系數(shù)不一樣,通過(guò)控制工藝過(guò)程,可以獲得微納米褶皺。通常獲得褶皺的方式有兩種:機(jī)械拉伸和熱膨脹。通過(guò)控制基底拉伸方向和釋放應(yīng)力的形式,可以得到不同形貌的褶皺結(jié)構(gòu);對(duì)彈性基底加熱,并在其表面進(jìn)行氧化處理或鍍金屬薄膜,隨后冷卻以釋放基底熱應(yīng)力,可以獲得無(wú)序微納褶皺。傳統(tǒng)的方法是通過(guò)光刻等工藝,先在基底上制備出微結(jié)構(gòu),然后在微結(jié)構(gòu)上進(jìn)行濺射或熱解等操作,從而獲得褶皺結(jié)構(gòu),但其工藝較復(fù)雜,且增強(qiáng)性能一般。本
2、文利用熱膨脹法,在調(diào)控應(yīng)力釋放的方式下,引入掩膜板起到邊界效應(yīng)作用,進(jìn)而影響褶皺的生成,并將該褶皺應(yīng)用于SERS基底。具體內(nèi)容如下:
首先,說(shuō)明了薄膜褶皺基底的制備工藝,包括:PDMS基底的制備、掩膜板的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、磁控濺射鍍膜處理等。所選用的掩膜板結(jié)構(gòu)為條紋狀,縫隙尺寸為幾十微米到一百微米,掩膜板厚度為300μm和500μm。通過(guò)控制實(shí)驗(yàn)條件,如:濺射時(shí)長(zhǎng)、濺射溫度、掩膜板尺寸等,來(lái)調(diào)控褶皺的薄膜厚度、回縮應(yīng)力大小、邊界條件,
3、進(jìn)而控制褶皺最后的結(jié)構(gòu)形式和尺寸大小。通過(guò)掩膜板的調(diào)控作用,在使用熱膨脹的方式下,控制濺射時(shí)間,可以獲得正弦形式的表面薄膜褶皺。同時(shí),使用AFM對(duì)褶皺表面形貌進(jìn)行表征,得到褶皺的振幅和波長(zhǎng)信息,以此信息來(lái)獲得褶皺結(jié)構(gòu)的深寬比。合理控制濺射時(shí)長(zhǎng),改變表面薄膜褶皺的厚度,可以獲得兩種典型的褶皺結(jié)構(gòu):正弦嵌套薄膜褶皺和表面微納米褶皺。
其次,在較好的調(diào)控薄膜褶皺的情況下,進(jìn)而把薄膜微褶皺應(yīng)用于SERS基底,并研究其增強(qiáng)性能。主要講述
4、了SERS基底的制備方法,并采用羅丹明R6G作為探針?lè)肿訉?duì)SERS基底進(jìn)行檢測(cè),使用型號(hào)為HORIBAHR800的激光拉曼光譜儀進(jìn)行信號(hào)檢測(cè)。在實(shí)驗(yàn)允許的情況下,分別對(duì)薄膜厚度、濺射溫度、掩膜板尺寸等對(duì)SERS基底的增強(qiáng)性能進(jìn)行了最優(yōu)探索,本實(shí)驗(yàn)中,在溫度為100℃、薄膜厚度300μm、掩膜板尺寸為30μm時(shí),增強(qiáng)性能較優(yōu)。并分別對(duì)正弦嵌套薄膜褶皺和表面微納米褶皺的增強(qiáng)性能進(jìn)行了檢驗(yàn)說(shuō)明,最后對(duì)該SERS基底能檢測(cè)到的最低羅丹明R6G濃
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