可調(diào)諧MEMS諧振器關(guān)鍵技術(shù)研究及應(yīng)用.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、MEMS諧振器大量應(yīng)用在實時時鐘、參考振蕩器及濾波器/混合器等前端無線收發(fā)部分,是濾波器及雙工器、振蕩器中的主要構(gòu)件。本文提出一種靜電激勵可調(diào)諧微諧振器,在橫向施加諧振激勵電壓基礎(chǔ)上,軸向加載,實現(xiàn)頻率兩級可調(diào)。
　　論文主要包括以下內(nèi)容:
　　1.提出一種可調(diào)諧微諧振器結(jié)構(gòu)模型,通過改變拉伸量與調(diào)節(jié)電壓實現(xiàn)頻率調(diào)節(jié),并根據(jù)設(shè)計要求確定微梁的結(jié)構(gòu)形式與尺寸。推導(dǎo)出微諧振器的動力學(xué)方程,用 MATLAB軟件進行幅頻響應(yīng)仿真,得

2、出不同拉伸量及不同調(diào)節(jié)電壓分別對應(yīng)的幅頻響應(yīng)曲線,得出拉伸量與調(diào)節(jié)電壓的調(diào)諧范圍分別為395480ppm、16ppm。
　　2.采用 COMSOL有限元軟件對設(shè)計的微諧振器進行仿真分析。首先進行模態(tài)分析,得到了前六階的振型與諧振頻率;然后對微諧振器整體進行建模分析,得到了振動幅度與應(yīng)力分布圖以及幅頻響應(yīng)曲線;最后仿真得到諧振梁與下電極間耦合電容。
　　3.采用 ADS射頻仿真軟件對微諧振器等效電路進行仿真分析,分別得到空氣介

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