基于偏振光的集成邁克爾遜干涉儀關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、近年來，隨著科技的不斷發(fā)展，在精密機(jī)械、集成電路生產(chǎn)等許多精密加工工業(yè)領(lǐng)域?qū)y(cè)試精度的要求越來越高。因此，研究測(cè)試系統(tǒng)中的關(guān)鍵技術(shù)有助于更好地理解精密測(cè)量。本文圍繞單頻激光干涉儀關(guān)鍵技術(shù)展開研究，其主要研究?jī)?nèi)容如下:
　　闡述了基于偏振光的集成邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)的原理與方法。首先根據(jù)邁克爾遜干涉原理分析了單頻激光干涉儀結(jié)構(gòu);其次基于瓊斯矩陣?yán)碚摚懻摿苏黄窦す飧缮鎯x數(shù)學(xué)模型，最后詳細(xì)分析了整個(gè)光路系統(tǒng)的干涉原理。
　　搭

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