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文檔簡介
1、隨著強激光、空間光學等領(lǐng)域的發(fā)展，系統(tǒng)對光學元件表面質(zhì)量的要求越來越高，對中頻段表面誤差的檢測受到了廣泛地重視，傳統(tǒng)的面形誤差評價方法已不能滿足要求。目前能檢測到光學元件的中頻段誤差的干涉儀相對較少，給光學元件的加工制造帶來了困難。因此，本文開展了中頻段檢測和高分辨率干涉儀關(guān)鍵技術(shù)的研究。
本文分析了不同頻段誤差的檢測和評價方法，深入研究了中頻段評價指標功率譜密度PSD（Power Spectral Density）的定義及其
2、數(shù)值計算方法;對測量和計算PSD過程中的采樣密度和可測得的頻率范圍的關(guān)系進行了分析討論，研究了PSD測量的有效頻率寬度。
研究了高分辨率PSD干涉儀的基本結(jié)構(gòu)和工作原理，設(shè)計了Φ15mm的PSD干涉儀系統(tǒng)，包括光纖導出式光源、準直物鏡、光闌、成像鏡和CCD采集系統(tǒng)等各個組成部分，并完成了干涉儀的集成裝調(diào)和測試;分析了干涉儀系統(tǒng)中偏振分光棱鏡、準直物鏡和CCD保護玻璃產(chǎn)生的相干噪聲對干涉圖結(jié)果影響。
研究了干涉儀系統(tǒng)傳
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