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1、氫氟酸酸蝕是傳統(tǒng)的用于去除玻璃反射鏡體機(jī)加工藝輕量化后殘余應(yīng)力的一種有效方法,由于傳統(tǒng)對(duì)于反射鏡體及其輕量化孔的形位公差要求都不高,因此對(duì)酸蝕工藝一直未見(jiàn)詳細(xì)研究。對(duì)于可用于深空科學(xué)探測(cè)和反導(dǎo)預(yù)警等國(guó)防安全事業(yè)的全低溫光學(xué)系統(tǒng),其反射鏡結(jié)構(gòu)一體件和結(jié)構(gòu)件形位公差都有較高要求,且大部分的形位公差只能靠機(jī)加工藝保證,這就要求酸蝕過(guò)程中基本不能改變微晶玻璃結(jié)構(gòu)件的形位公差,因此對(duì)于酸蝕過(guò)程中各工藝參數(shù)的影響以及保形酸蝕工藝條件進(jìn)行研究具有很重
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