基于硅表面的微型氣相色譜研究.pdf

1、色譜法是一種分離和分析的方法，在分析化學(xué)、有機(jī)化學(xué)、生物化學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。但是，傳統(tǒng)色譜法由于體積龐大、不利于攜帶等缺點(diǎn)，無(wú)法滿足分析檢測(cè)“時(shí)效性”和“便攜性”的需求。隨著近年來(lái)MEMS技術(shù)和半導(dǎo)體器件工藝技術(shù)的發(fā)展和成熟，各種微型氣相色譜儀已經(jīng)成為當(dāng)前色譜研究的熱點(diǎn)。由于微型氣相色譜具有體積小，能耗低等優(yōu)點(diǎn)，微型氣相色譜在藥物監(jiān)測(cè)，環(huán)境保護(hù)和航天事業(yè)中具有非常廣闊的應(yīng)用前景。
　　本文基于實(shí)驗(yàn)室超凈間微納加工平臺(tái)，研究制

2、備了一種新型的高性能微型色譜柱芯片。同時(shí)將其運(yùn)用到實(shí)際的測(cè)試中，取得了非常好的實(shí)驗(yàn)結(jié)果?；谠摻Y(jié)構(gòu)，我們提出了多種實(shí)際應(yīng)用的可能性。具體研究?jī)?nèi)容如下：
　　1.通過(guò)實(shí)驗(yàn)摸索，獲得了成熟的微型色譜柱制備工藝。根據(jù)實(shí)驗(yàn)室MEMS工藝環(huán)境，成功制備出一種具有溝道長(zhǎng)3m，寬150μm，深300μm且含有直徑為30μm圓柱體的微型氣相色譜柱，該色譜柱能夠分離具有13種正構(gòu)烷烴的混合物。
　　2.研究了碳納米管和石墨烯等微納材料對(duì)固定相