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文檔簡介
1、本文通過磁控濺射技術(shù)在硅基底、藍(lán)寶石基底、不銹鋼基底上分別制備了TiB2/Al2O3、TiB2/AlN納米多層膜。通過對(duì)樣品的小角度XRD測(cè)試,輔以掃描隧道顯微鏡(SEM)表征了樣品的多層膜結(jié)構(gòu);用大角度XRD衍射來分析多層膜的晶體結(jié)構(gòu);用納米壓痕儀和表面輪廓儀測(cè)試了多層膜的硬度、彈性模量及臨界載荷等機(jī)械性能。討論了多層膜的調(diào)制周期、調(diào)制比、工作氣壓及基底偏壓對(duì)多層膜的結(jié)構(gòu)和機(jī)械性能的影響。
調(diào)制周期與調(diào)制比的不同,會(huì)對(duì)多層膜
2、的硬度與彈性模量產(chǎn)生很大影響。多層膜硬度與彈性模量隨調(diào)制周期、調(diào)制比的增大,均呈現(xiàn)先增加后減少趨勢(shì),當(dāng)調(diào)制周期為11nm,調(diào)制比為tTiB2∶tAl2O3=7∶1,工作氣壓為0.6 Pa,基底偏壓為-60 V時(shí),多層膜機(jī)械性能達(dá)到最佳:硬度為29.4 GPa、彈性模量為457.1 GPa,同時(shí)薄膜的殘余應(yīng)力與摩擦系數(shù)均優(yōu)于單層膜。
TiB2/AlN多層膜中不同物質(zhì)的層厚度會(huì)對(duì)薄膜的機(jī)械性能產(chǎn)生很大影響,分別通過改變AlN和Ti
3、B2層厚度,找到最佳層厚度配比。當(dāng)TiB2層厚度為7nm,AlN層厚度為3.2 nm,工作氣壓為0.6 Pa,基底偏壓為-60 V時(shí),多層膜硬度達(dá)到最大值為38.9 GPa、彈性模量也達(dá)最大為540.8 GPa。
對(duì)于TiB2/Al2O3和TiB2/AlN納米多層膜,以前的文獻(xiàn)鮮有報(bào)道。本文在得到多層膜最佳工藝參數(shù),合成具有高硬度、高彈性模量、良好的膜基結(jié)合力、較低摩擦系數(shù)和較低殘余應(yīng)力的TiB2/Al2O3、TiB2/AlN
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