雙波長(zhǎng)光干涉光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與移相仿真研究.pdf_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩56頁(yè)未讀 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、光學(xué)干涉測(cè)試技術(shù)可以用于對(duì)光學(xué)元件面形、光學(xué)系統(tǒng)性能以及光學(xué)材料特性進(jìn)行高精度測(cè)試,然而傳統(tǒng)的單波長(zhǎng)可見光移相干涉儀的測(cè)量范圍受到其工作波長(zhǎng)的制約,不能用于大面形偏差的面形測(cè)量,例如臺(tái)階面和非球面的面形檢測(cè)。雙波長(zhǎng)移相干涉術(shù)利用兩種不同的波長(zhǎng)作為工作波長(zhǎng)對(duì)待測(cè)面進(jìn)行干涉測(cè)量,通過提取等效波長(zhǎng)相位信息恢復(fù)待測(cè)面形信息,可以有效地?cái)U(kuò)展單波長(zhǎng)可見光干涉儀的測(cè)量范圍,實(shí)現(xiàn)大偏差面形的高精度測(cè)量。
  本文研究了雙波長(zhǎng)干涉術(shù)的基本原理,利用

2、Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件設(shè)計(jì)了一套雙波長(zhǎng)干涉系統(tǒng),主要包括擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)設(shè)計(jì)、干涉光路設(shè)計(jì)以及成像系統(tǒng)設(shè)計(jì),并完成了系統(tǒng)公差分析,設(shè)計(jì)結(jié)果滿足各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)要求,符合光學(xué)元件加工和裝調(diào)的容差范圍。研究了等效波長(zhǎng)相位提取算法,利用高階移相算法和Carré算法改進(jìn)了傳統(tǒng)的雙波長(zhǎng)算法,并對(duì)相關(guān)算法進(jìn)行了數(shù)值計(jì)算仿真,仿真所使用到的兩種波長(zhǎng)分別為632.8nm和543nm,仿真結(jié)果表明,改進(jìn)的雙波長(zhǎng)算法具有較高的面形復(fù)原精度,并且可以有效地抑制移相誤

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論