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文檔簡介
1、光干涉測量具有高精度、高靈敏度的特點，是一種非接觸式的測量方式。雙波長移相干涉技術(shù)將雙波長全息技術(shù)和移相干涉技術(shù)相結(jié)合，相較于傳統(tǒng)的單波長移相干涉技術(shù)具有不可替代的優(yōu)點，在保證單波長測試精度的前提下可擴(kuò)大測量范圍，因此具有廣闊的應(yīng)用空間。
本文闡述了雙波長移相干涉技術(shù)基本原理、現(xiàn)有雙波長干涉測量裝置;以建立雙波長移相干涉實驗裝置為目的，設(shè)計了雙波長干涉儀光學(xué)系統(tǒng)、消色差準(zhǔn)直物鏡組、成像透鏡組，并根據(jù)裝置的總體技術(shù)要求，在計算分
2、析基礎(chǔ)上，確定了相關(guān)的硬件參數(shù)，完成了雙波長移相干涉儀的裝調(diào)，工作波長分別為632.8nm與532nm，測試口徑為Φ100mm;在研究現(xiàn)有四步法光學(xué)非均勻性的基礎(chǔ)上，假定波長相差不大的范圍內(nèi)，光學(xué)非均勻性近似相等，提出了“兩步法”光學(xué)非均勻性的雙波長移相干涉測量方法，具有操作簡單、測量精度高等優(yōu)點，由仿真驗證了兩步法方法的準(zhǔn)確性和可行性。最后用斐索型雙波長移相干涉儀對樣品的光學(xué)非均勻性數(shù)據(jù)進(jìn)行了測試，并與ZYGO干涉儀的測試結(jié)果進(jìn)行比對
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