宏微復合運動平臺的非線性補償及其動態(tài)特性研究.pdf

1、高速電子制造裝備常常需要實現(xiàn)高速、大行程和精密運動，宏微復合平臺是實現(xiàn)其要求的有效方法之一。這類平臺主要由直線電機與壓電陶瓷驅動復合而成，往往要求在高速高加速運動條件下實現(xiàn)平臺的快速精密定位。如何解決這一問題，涉及平臺結構、運動控制、非線性補償、精密定位等關鍵技術。本文針對宏微復合平臺的微運動機構，開展壓電陶瓷及彈簧的非線性磁滯復合效應研究以及微運動動力學特性研究，為提高宏微復合平臺的定位精度奠定基礎。論文的主要內容概括如下:
　

2、　1、深入調研宏微復合平臺國內外研究現(xiàn)狀，分析微運動平臺研究的關鍵技術及存在的難點問題，確定本論文的研究內容。
　　2、基于所設計的宏微復合平臺結構，分析微運動平臺的物理特性，重點研究與壓電陶瓷相連的彈簧預緊力問題，通過對彈簧預緊的有限元分析及預緊力實驗，確定合理的預緊力。
　　3、針對壓電陶瓷及彈簧伸縮時的非線性磁滯復合問題，研究Preisach模型建模方法，提出基于Preisach模型前饋非線性補償方法，對微運動平臺磁滯

3、復合非線性進行線性化補償，提高平臺定位精度。
　　4、分析微運動平臺系統(tǒng)組成及各單元環(huán)節(jié)的特點，建立微運動平臺系統(tǒng)機電動力學模型，分析微運動平臺在開環(huán)階躍響應下的動態(tài)特性。通過仿真和實驗研究，驗證所建動力學模型與微運動平臺動態(tài)特性的一致性，明確微運動平臺在有摩擦和無摩擦力作用下平臺到達穩(wěn)定所需時間，為微運動平臺的快速定位奠定基礎。
　　5、搭建宏微復合運動實驗平臺，應用相關儀器設備對宏微復合平臺運動特性及精度進行分析。并驗證