濺射法制備氧化釩薄膜的研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩56頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)

文檔簡介

1、VO2是一種倍受關(guān)注的智能溫控材料,隨著溫度的變化,在68℃時,其電學(xué)、光學(xué)性質(zhì)隨著晶態(tài)結(jié)構(gòu)發(fā)生從低溫半導(dǎo)體相—高溫金屬相的轉(zhuǎn)變而發(fā)生突變,而且此相變過程可逆。VO2的光波透射和反射特性隨外界溫度改變進行自動調(diào)節(jié),所以使得它成為智能節(jié)能窗的首選材料。
　　研究表明,VO2的相變溫度可以通過雜質(zhì)摻雜進行調(diào)整。本文采用兩步工藝,以普通玻璃為基底材料,先用射頻磁控濺射工藝制備出高純度的釩薄膜以及鎢摻雜的釩薄膜,再在箱式爐空氣氣氛中退火氧

2、化熱處理,得到 VO2含量較高的未摻雜的氧化釩薄膜及鎢摻雜氧化釩薄膜。采用X射線衍射儀(XRD)、X射線光電子能譜儀(XPS)分析確定了薄膜的晶體結(jié)構(gòu)及化合價態(tài),原子力顯微鏡(AFM)觀察了薄膜表面微觀形貌特征,傅里葉變換紅外光譜儀(FT-IR)、自制薄膜電阻測量裝備分別研究了薄膜的光學(xué)性能和電學(xué)性能。
　　結(jié)果表明濺射90min,400℃空氣氛圍中熱處理2h制備的未摻雜以及鎢摻雜氧化釩薄膜具有良好相變性能。未摻雜氧化釩薄膜具有5

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論