基于石墨烯材料的微波納機(jī)電諧振器研究.pdf

1、微波機(jī)電諧振器在高品質(zhì)因素微波器件、高靈敏度傳感器、單分子檢測器和宏觀量子效應(yīng)檢測等領(lǐng)域上有著廣闊的應(yīng)用前景。由于石墨烯材料具有納米級(jí)物理尺寸、二維平面物理結(jié)構(gòu)、優(yōu)秀的機(jī)械性能和電性能,因此石墨烯納機(jī)電諧振器在器件制備、激勵(lì)與檢測等關(guān)鍵技術(shù)上具有其它材料器件無法比擬的優(yōu)勢,是目前納機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)的熱門材料。然而由于器件結(jié)構(gòu)不完善和制備工藝不夠成熟,目前石墨烯納機(jī)電諧振器的最高工作頻率仍低于200MHz。
　　為實(shí)現(xiàn)石墨烯微波

2、納機(jī)電諧振器,本文對(duì)納機(jī)電諧振器的物理機(jī)理與特性進(jìn)行研究,分析各個(gè)物理參量對(duì)諧振器諧振頻率的影響,對(duì)實(shí)現(xiàn)微波頻段的石墨烯納機(jī)電諧振器具有一定的指導(dǎo)意義?；谑╉敄沤Y(jié)構(gòu)FET的高頻工作特性,對(duì)石墨烯納機(jī)電諧振器的高頻工作特性進(jìn)行分析。為了方便器件的設(shè)計(jì)和優(yōu)化,本文采用等效電路方法對(duì)石墨烯納機(jī)電諧振器進(jìn)行場效應(yīng)模型與機(jī)械振動(dòng)模型的關(guān)聯(lián)研究,即機(jī)電效應(yīng)的研究。并基于微波半導(dǎo)體器件特性,提出了基于諧振溝道晶體管(RCT)的激勵(lì)與檢測方法,利