基于石墨烯的納機(jī)電諧振器的仿真與工藝設(shè)計(jì).pdf_第1頁(yè)
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1、石墨烯是一種由單層碳原子組成二維蜂巢狀結(jié)構(gòu)的新型碳質(zhì)材料，具有高剛度和低密度的特性，是用于制作納機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)器件的理想材料。納機(jī)電諧振器作為一種典型的NEMS器件，以其低功耗、高靈敏度等特點(diǎn)在傳感器以及通信領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。本文針對(duì)基于石墨烯的納機(jī)電諧振器進(jìn)行研究，對(duì)其相關(guān)特性進(jìn)行了分析，給出了制備工藝。主要工作如下：
　　 首先，綜述了納機(jī)電系統(tǒng)的定義和納機(jī)電諧振器的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀，并基于宏觀連續(xù)體理論對(duì)納諧振器進(jìn)行

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