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文檔簡介
1、石墨烯是一種由單層碳原子組成二維蜂巢狀結(jié)構(gòu)的新型碳質(zhì)材料，具有高剛度和低密度的特性，是用于制作納機電系統(tǒng)(NEMS)器件的理想材料。納機電諧振器作為一種典型的NEMS器件，以其低功耗、高靈敏度等特點在傳感器以及通信領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。本文針對基于石墨烯的納機電諧振器進行研究，對其相關(guān)特性進行了分析，給出了制備工藝。主要工作如下：
首先，綜述了納機電系統(tǒng)的定義和納機電諧振器的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，并基于宏觀連續(xù)體理論對納諧振器進行
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