基于AFM探針軌跡及工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)結(jié)合的納米加工技術(shù)研究.pdf

1、基于原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope，AFM）的納米機(jī)械刻劃加工技術(shù)已經(jīng)成為加工納米結(jié)構(gòu)的有效方法之一，隨著納米技術(shù)的發(fā)展，復(fù)雜微納結(jié)構(gòu)的制造已經(jīng)成為一個(gè)研究熱點(diǎn)。本課題針對(duì)AFM探針納米加工技術(shù)中存在的加工結(jié)構(gòu)一致性差和復(fù)雜程度低等問(wèn)題進(jìn)行研究，將AFM探針軌跡運(yùn)動(dòng)與工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)相結(jié)合，提出了提高AFM探針納米機(jī)械刻劃加工效率、加工結(jié)構(gòu)復(fù)雜性和一致性的新方法，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了方法的可行性。
　　首先，針

2、對(duì)AFM探針在不同刻劃方向加工結(jié)構(gòu)的深度和質(zhì)量一致性差的問(wèn)題，對(duì)原有AFM系統(tǒng)進(jìn)行改造并引入精密氣浮主軸和手動(dòng)二維調(diào)整臺(tái)，設(shè)計(jì)一種探針相同刻劃方向加工納米單線和納米通道結(jié)構(gòu)的方法，從而提高了加工結(jié)構(gòu)深度和質(zhì)量的一致性。
　　其次，通過(guò)對(duì)AFM系統(tǒng)開(kāi)源程序的擴(kuò)展利用，改變AFM探針運(yùn)動(dòng)軌跡，研究探針與高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的復(fù)合運(yùn)動(dòng)關(guān)系，提出了依靠探針軌跡運(yùn)動(dòng)加工復(fù)雜微階梯結(jié)構(gòu)的新方法，最終提高了結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性和加工效率。
　　最后，通