納米工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文對(duì)納米工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)進(jìn)行了研究。主要內(nèi)容包括： 1.對(duì)宏動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行研究，主要研究基于PMAC控制器的控制算法在精密定位系統(tǒng)中的運(yùn)用，以及研究宏定位系統(tǒng)所能達(dá)到的精度，著重研究了PID+速度/加速度前饋算法在納米定位系統(tǒng)中的運(yùn)用與實(shí)現(xiàn)。 2.對(duì)微動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行研究，包括壓電陶瓷在納米定位中的特性，所能達(dá)到的效果，以及微動(dòng)工作臺(tái)在宏微兩級(jí)納米定位工作臺(tái)中的作用與實(shí)現(xiàn)。 3.根據(jù)納米工作臺(tái)控制系統(tǒng)的實(shí)際要求，采用V

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