微納米三坐標接觸式探頭優(yōu)化設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、接觸式探頭作為微納米三坐標測量機的主要組成部分之一，按照結構可分為觸發(fā)式和掃描式兩類。
　　論文簡要介紹了國內(nèi)外微納米三維探頭的發(fā)展現(xiàn)狀，在此基礎上提出并研制了具有高靈敏度的三維微納米接觸觸發(fā)式和掃描式測量探頭，并從原理和結構兩個方面詳細介紹這兩種探頭。兩種探頭都主要由彈性機構、三自由度光學傳感器和調(diào)整結構三個部分組成。觸發(fā)式與掃描式探頭的彈性機構分別為單層簧片結構與雙層簧片結構，建立了剛度模型，對兩個探頭的彈性模型進行了優(yōu)化設計

2、并得出了最佳結構參數(shù)，通過Solidworks simulation仿真和實驗驗證了所設計結構的正確性;光學傳感器分別基于自準直原理與原子力顯微鏡(AFM)原理，分析靈敏度模型，優(yōu)化結構參數(shù);調(diào)節(jié)調(diào)整機構從而實現(xiàn)探頭三個方向位移的感測。兩種探頭的機械結構與傳感器結構簡單，成本低廉并且裝調(diào)方便。
　　基于PI(Physical Instrument)微動平臺，搭建了不同的實驗系統(tǒng)，對組裝好的探頭進行彈性機構性能測試以及探頭重復性、分

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