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文檔簡介
1、為了達到實驗室研制的微納米三坐標測量機(Micro/Nano-CMM)能夠實現(xiàn)對微結構三維特征尺寸的高精度測量的目的，本文主要做了如下幾項工作:
1、解決了微納米三坐標測量機Z軸的驅動控制方面存在的問題，使Z軸能夠靈活、平穩(wěn)的實現(xiàn)不同模式的直線運動。
2、解決了Z軸長度測量傳感器線性衍射光柵干涉儀(LDGI)輸出信號不穩(wěn)定的問題，改進了干涉信號的質(zhì)量，提高了位移解析的分辨率及精度。
3、對該坐標測量機使用的
2、接觸掃描式探頭進行了結構及信號處理方法上的改進，對坐標測量機的探測誤差進行了分離和校正，使探頭的三維測微重復性達到:X、Y軸優(yōu)于20nm，Z軸優(yōu)于4nm。
4、對單軸進行定位誤差的補償，主要是利用基于自準直儀原理的角度測量傳感器感測出機臺在直線運動過程中的俯仰偏擺角，以此補償長度測量中的阿貝誤差，大大提高了定位精度。
5、在恒溫(20±0.03℃)、隔振的實驗條件下，對該坐標測量機進行了系統(tǒng)的測試，包括對標準件的平面
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