2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

1、Nd-Fe-B基永磁薄膜在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中具有廣泛的應(yīng)用前景。針對采用Nd-Fe-B合金靶制備Nd2Fe14B基薄膜,存在不易調(diào)控薄膜的成分、微結(jié)構(gòu)、相組成等缺點(diǎn),本論文采用磁控濺射多層膜(Nd/Fe-B)方式,也即SiO2/Ti(30nm)/[Nd(t nm)/Fe83B17(10nm)]10/Nd(t nm)/Ti(30nm),制備Nd2Fe14B基薄膜磁體。利用X射線衍射儀、原子力顯微Nd/Fe-B多層膜相組成及磁性能的影

2、響。獲得了如下主要結(jié)果:
　　1)采用Nd15Fe75B10合金靶材制備 Nd-Fe-B單層膜,退火處理后薄膜未生成硬磁相Nd2Fe14B,表現(xiàn)出軟磁特征。而Nd/Fe-B多層膜退火處理后生成了硬磁性相Nd2Fe14B和富釹相Nd2O3,富Nd相隔離硬磁相之間的耦合效應(yīng),大幅度提高了薄膜的矯頑力和最大磁能積。
　　2)實(shí)驗(yàn)觀察到合適的Nd層厚度有利于改善退火Nd/Fe-B多層膜的磁性能。當(dāng)Nd層厚度為4nm時(shí),Nd/Fe-B

3、多層膜退火后獲得較好的綜合磁性能:矯頑力Hc=13.3kOe,最大磁能積約為(BH)max=3.2MGOe。
　　3)相結(jié)構(gòu)分析表明:添加 Ti插入層制備[Nd/Fe-B]/Ti/[Nd/Fe-B]多層膜,退火后[Nd/Fe-B]/Ti/[Nd/Fe-B]多層膜富 Nd相的結(jié)晶形式發(fā)生改變,在原來的基礎(chǔ)上形成新的NdO2相。適當(dāng)厚度的Ti插入層能夠提高Nd/Fe-B多層膜的矯頑力,但不利于剩磁,導(dǎo)致最大磁能積的下降。當(dāng)插入層Ti厚

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