版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料,特別是以氮化鎵(GaN)為代表的三族氮化物半導(dǎo)體材料及其合金因其具有禁帶寬度大,波長覆蓋范圍廣,高溫性能好等優(yōu)越的特點而得到極大的關(guān)注和研究。目前,氮化鎵及其合金被廣泛應(yīng)用在發(fā)光LED、半導(dǎo)體激光器和光電探測器等領(lǐng)域。由于氮化鎵具有很高的n型本底載流子濃度,P型氮化鎵的獲取一直是個難題。目前,通過對摻鎂的氮化鎵進(jìn)行快速的高溫退火可得到高質(zhì)量的P型氮化鎵。氮化鎵材料光學(xué)常數(shù)的研究對氮化鎵基的紫外波段的光電探測器有著
2、重要作用,對于帶隙之上波段的光學(xué)常數(shù)的研究尚無定論,因此對氮化鎵帶隙及帶隙之上的光學(xué)常數(shù)的數(shù)學(xué)公式的可靠描述研究就顯得很重要。不同的退火溫度對P型GaN的發(fā)光特性和外延片的質(zhì)量都有影響,最優(yōu)化的生長條件對氮化鎵材料的生長至關(guān)重要,值得系統(tǒng)深入地研究。
本論文首先介紹了氮化鎵材料的研究現(xiàn)狀、基本性質(zhì)、P型氮化鎵實現(xiàn)的方法及面臨的問題、氮化鎵外延生長技術(shù)及本論文所涉及的P型氮化鎵樣品。然后通過橢圓偏振光譜、拉曼散射光譜和光致發(fā)光光
3、譜表征手段對不同退火溫度的P型氮化鎵外延片的光學(xué)常數(shù)、平面應(yīng)力和發(fā)光機理進(jìn)行了系統(tǒng)的研究。
本論文的主要研究工作有:(1)通過對橢圓偏振數(shù)據(jù)的擬合分析,得到了Tauch-Lorentz模型可以在全波段上描述P型GaN的光學(xué)常數(shù)的結(jié)論,研究了不同退火溫度對P型GaN光學(xué)常數(shù)的影響特點,及P型GaN的光學(xué)各向異性的特征。(2)利用拉曼空間相關(guān)模型對不同退火溫度的P型GaN外延層的平面應(yīng)力進(jìn)行分析研究。(3)對不同退火溫度的P型Ga
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 氮化鎵薄膜的制備與特性研究.pdf
- 襯底溫度對低功率制備ZnO薄膜光學(xué)特性的影響.pdf
- 用不同濺射方法鍍制SiO2薄膜光學(xué)特性的研究.pdf
- 納米磁性液體薄膜光學(xué)特性研究.pdf
- KNSBN與SBN電光薄膜光學(xué)特性研究.pdf
- ito薄膜光學(xué)性能的研究
- 氮化鎵粉末和薄膜的制備、結(jié)構(gòu)和特性研究.pdf
- Fabry-Perot薄膜濾波器薄膜光學(xué)特性的研究.pdf
- 薄膜光學(xué)濾光片的實驗制備及其光學(xué)特性研究.pdf
- 光學(xué)薄膜光學(xué)特性檢測中若干關(guān)鍵問題的研究.pdf
- PLZT、BST鐵電薄膜光學(xué)特性研究.pdf
- ITO薄膜光學(xué)性能的研究.pdf
- 氧化鋅薄膜光學(xué)和光電導(dǎo)特性的研究.pdf
- 生長氮化鎵薄膜的智能高精度溫度控制器的研究.pdf
- 氮化銦及氮化鎵的制備及特性研究.pdf
- 六方氧化鎵薄膜的制備及氮化與摻雜特性研究.pdf
- 納米薄膜光學(xué)常數(shù)的研究和高效率銅銦鎵硒薄膜光伏器件的制備.pdf
- 氫化非晶氮化硅薄膜光學(xué)性質(zhì)調(diào)控及應(yīng)用.pdf
- 氧化鎵薄膜的制備及氫退火研究.pdf
- 氮化硅薄膜的螺旋波PECVD及其光學(xué)特性研究.pdf
評論
0/150
提交評論