飛秒激光燒蝕石英玻璃機理與形貌特征研究.pdf

1、飛秒激光微細加工技術是一種利用飛秒激光的超短脈沖寬度、超強峰值功率和超高重復頻率等獨特燒蝕特征，并在極短時間條件下產生高溫、高壓的等離子體而產生材料的局部微爆，從而實現對材料進行精確去除的微細制造方法。由于飛秒激光與物質作用時具有加工精度高，作用區(qū)域小，可突破衍射極限等特點，使得精密燒蝕石英玻璃表面成為可能。石英玻璃具有優(yōu)良的高溫使用性能和較低的熱膨脹系數，同時在紫外光波段的透過率較高，因此成為光刻印刷領域、空間光學系統(tǒng)和激光核聚變系統(tǒng)

2、中常用的光學材料。而在這些應用領域中，有較多涉及到對石英玻璃表面進行精密加工，且對表面質量要求較高，因此，研究飛秒激光燒蝕去除機理及加工規(guī)律則有實際應用價值。本文建立了飛秒激光燒蝕透明電介質的物理模型，并對燒蝕機理進行了討論;利用摻鈦藍寶石再生放大器飛秒激光系統(tǒng)對石英玻璃進行點、線和面燒蝕實驗;利用光學顯微鏡、環(huán)境掃描電子顯微鏡、超景深顯微鏡、臺階儀和三維表面輪廓儀等設備，對燒蝕表面形貌、腐蝕形貌、表面燒蝕深度和表面粗糙度等進行檢測分析

3、。主要研究內容包括:
　　(1)基于透明電介質材料電子密度隨時間的變化關系方程和雪崩電離、多光子電離理論，建立飛秒激光燒蝕石英玻璃物理模型;利用MATLAB軟件在特定參數下對石英玻璃的燒蝕閾值、深度和燒蝕體積進行編程計算，并對結果進行驗證。
　　(2)針對激光束線偏振和圓偏振兩種不同偏振態(tài)，分別開展不同掃描速度和不同激光功率的線燒蝕實驗，并對線、圓偏振光的燒蝕線形貌進行對比。通過光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡研究不同參數下的燒蝕

4、線寬度和深度，并分析差異性產生的原因。
　　(3)利用不同掃描速度和不同激光功率的線燒蝕實驗優(yōu)化參數，開展不同線重疊率的面燒蝕實驗，對比線、圓偏振光燒蝕表面形貌的不同。利用三維表面輪廓儀(Zygo-NV5022)檢測燒蝕表面粗糙度，尋找表面粗糙度值較小時的線重疊率;此外，通過表面臺階測量儀對燒蝕面的去除深度進行檢測。
　　(4)根據燒蝕線橫截面輪廓實驗檢測結果，提出線燒蝕與面燒蝕加工的“V”型計算假設條件。分別建立掃描速度對