

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、碩士學位論文飛秒激光加工石英玻璃微結(jié)構(gòu)實驗與仿真研究ExperimentandSimulationofMicrostructureMachiningonQuartzGlassbyFemtosecondLaser作者姓名:周思雨學號:指導教師:完成日期:2120401l吳東江教授201505一Ol大連理工大學DalianUniversityofTechnobgy大連理工大學碩士學位論文摘要石英玻璃具有機械強度高、耐熱性好、熱膨脹系數(shù)小、化
2、學性能穩(wěn)定等優(yōu)點,因而廣泛應(yīng)用于光刻印刷、空間光學及激光核聚變系統(tǒng)等領(lǐng)域。這些領(lǐng)域,較多涉及石英玻璃微結(jié)構(gòu)的精密加工,如表面微流道制造、表面凹槽減薄等。但石英玻璃具有高硬易碎等特點,傳統(tǒng)加工方法如光刻腐蝕、超聲波和離子刻蝕等很難在其表面進行點線面等微結(jié)構(gòu)的精密加工。飛秒激光脈寬短于絕大多數(shù)物理化學過程的特征時間,因此具有閾值效應(yīng)明顯、熱影響區(qū)極小、重鑄層小和可控性高等特點,使其在石英玻璃表面進行微結(jié)構(gòu)的精密加工成為可能。本文采用實驗與仿
3、真相結(jié)合的方法,對飛秒激光精密加工石英玻璃微結(jié)構(gòu)的形狀和形貌特征進行分析與討論,主要研究內(nèi)容包括:(1)分析飛秒激光加工電介質(zhì)過程中所涉及的非線性過程,基于??艘黄绽士朔匠?,建立飛秒激光燒蝕石英玻璃的燒蝕閾值及單脈沖燒蝕深度模型,為微結(jié)構(gòu)加工實驗提供脈沖能量參考,為微結(jié)構(gòu)仿真模型的建立提供理論基礎(chǔ);(2)開展微孔結(jié)構(gòu)燒蝕實驗,分析脈沖能量和數(shù)目對微孔燒蝕形狀及形貌影響規(guī)律;測量燒蝕閾值、單脈沖燒蝕深度及多脈沖累積系數(shù)等參數(shù),對閾值模型進
4、行驗證,并為飛秒激光加工石英玻璃微結(jié)構(gòu)仿真模型的建立提供基本參數(shù);(3)開展線槽結(jié)構(gòu)加工實驗,分析脈沖能量和掃描速度對線槽加工形狀及形貌影響規(guī)律,確定優(yōu)化的線槽加工參數(shù);基于單脈沖燒蝕深度模型,建立線槽結(jié)構(gòu)截面形狀仿真模型,為后續(xù)凹槽仿真建立基礎(chǔ);(4)開展單層凹槽減薄實驗,分析線重疊率對凹槽減薄形狀及底面形貌影響規(guī)律;建立單層凹槽減薄三維仿真模型,通過模型分析脈沖能量和掃描速度參數(shù)對凹槽底面粗糙度影響規(guī)律;(5)開展不同減薄方式的雙層
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 飛秒激光燒蝕石英玻璃機理與形貌特征研究.pdf
- 石英玻璃內(nèi)飛秒激光光刻光柵衍射效率的研究.pdf
- 激光加工石英玻璃小孔的研究.pdf
- 飛秒激光微結(jié)構(gòu)加工工藝的研究.pdf
- 飛秒激光在石英玻璃及氟化鋇中產(chǎn)生超連續(xù)輻射的研究.pdf
- 飛秒激光改性玻璃微結(jié)構(gòu)的化學腐蝕特性研究.pdf
- 飛秒激光在硅表面微結(jié)構(gòu)加工的研究.pdf
- 軸對稱微結(jié)構(gòu)表面的飛秒激光加工工藝研究.pdf
- 磁介質(zhì)表面微結(jié)構(gòu)飛秒激光微加工的研究.pdf
- 石英玻璃
- 飛秒激光在玻璃、晶態(tài)內(nèi)誘導微結(jié)構(gòu)變化的光譜研究.pdf
- 飛秒激光在玻璃和半導體表面誘導微結(jié)構(gòu).pdf
- 石英玻璃合成爐的CFD仿真.pdf
- 飛秒激光脈沖誘導材料微結(jié)構(gòu).pdf
- 紫外激光對石英玻璃損傷的研究.pdf
- 激光刻蝕拋光石英玻璃工藝研究.pdf
- 飛秒激光誘導材料微結(jié)構(gòu)的研究.pdf
- 飛秒激光制備硅基微結(jié)構(gòu)的研究.pdf
- 飛秒激光微精細加工理論與實驗研究.pdf
- 光學石英玻璃納米加工性能的研究.pdf
評論
0/150
提交評論