激光激勵的微結(jié)構(gòu)動態(tài)特性測試技術(shù)研究.pdf

1、隨著MEMS（微機電系統(tǒng)）的廣泛應(yīng)用，對微結(jié)構(gòu)進(jìn)行動態(tài)特性測試以獲取微結(jié)構(gòu)模態(tài)參數(shù)信息的需求逐漸增加。但由于現(xiàn)有的模態(tài)測試激勵方法無法滿足微小結(jié)構(gòu)的振動激勵，所以迫切需要新的模態(tài)激勵方法以滿足對微結(jié)構(gòu)進(jìn)行激勵的需求。本文提出一種新的微結(jié)構(gòu)模態(tài)激勵方法——激光沖擊激勵方法，即利用激光與靶材相互作用時的沖擊力作為激勵源，實現(xiàn)對被測結(jié)構(gòu)的激勵。這種方法具有激勵時間極短，激勵脈寬很寬，非接觸式激勵，且對微結(jié)構(gòu)的特性影響較少等優(yōu)點，是一種很好的微

2、結(jié)構(gòu)激勵方法，具有廣泛的應(yīng)用前景。
　　本文首先對激光沖擊激勵的產(chǎn)生機理進(jìn)行了研究，包括對激光沖擊力的形成過程、相互作用過程中的能量轉(zhuǎn)換機制以及激光沖擊力的特點進(jìn)行了深入的研究。同時也對激光激勵測試系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)的介紹，包括測試系統(tǒng)方案設(shè)計，實驗裝置選擇及實驗流程等。
　　然后，搭建實驗系統(tǒng)并對懸臂梁進(jìn)行激光激勵實驗。首先研究不同激光能量對激光激勵結(jié)果的影響，然后使用Cu懸臂梁進(jìn)行激光激勵實驗，對實驗結(jié)果進(jìn)行FFT頻譜分析，